SM481(L)_Administrator's guide (Chi_Ver6.1).pdf.pdf - 第399页

14-45 Machine Calibration 备 注 Fiducial Camera Offset (FOV 7.5) 的 校正基准值如下。  Gantry 1 Offset X : -243.0mm ~ -241.0mm Offset Y : -1.0mm ~ 1.0mm 14.3.7.2. Head Z / R Offset Calibration PCB 顶面到 Z 轴 Home 的距离是机械设置的 。 Z Offset …

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6. 自动执行校正后结束校正则如下图显示结果值。要适用其校正值请点击<更新>
按钮。
7. 显示下一步从头部移动吸嘴1。点 [下一步]向下移动头部。移动后,手动移
出吸嘴。消息。为了在磁头1号的吸嘴支架上手动除去Calibration Tool请点击 <
下个> 按钮
为了手动清除插入到Head1号吸嘴支撑架的吸嘴,请点击<下个>按钮之后清
ANC上的校正 Tool
测量结果可在Head Offset对话框中确认。
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Machine Calibration
Fiducial Camera Offset (FOV 7.5)校正基准值如下。
Gantry 1
Offset X : -243.0mm ~ -241.0mm
Offset Y : -1.0mm ~ 1.0mm
14.3.7.2. Head Z / R Offset Calibration
PCB顶面到ZHome的距离是机械设置的Z Offset 校正为以PCB顶面基准,利用
空压测量对此距离的Offset
R Offset 校正为以吸嘴支撑架0度基准进行整列,测量对角度的Offset
以下是执行Z Offset 校正的过程,使用的吸嘴为校正CN040吸嘴。
1. 点击<准备吸嘴>按钮,手动清除插入在所有Head吸嘴支撑架的吸嘴后把
CN040吸嘴插入到ANC2号孔中。Gantry1时前面ANC 2号孔、 Gantry2
后面ANC2号孔中插入CN040吸嘴。
测量Z Offset的位置为从前面ANC的校正 Tool位置(中心脱离3mm处,如果
此处有异物或校正 Tool时,请预先清除。
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2. <Grid>领域中选择执行校正的Head Z轴后,选择<Automatic> 验框,之后
点击<Detect Z Offset>按钮。(在此任意设置成Head1
3. 那么Head会自动移动到ANC上的指定位置。之后设备产生空压从Head1号开始
Head10依次自动下降Spindle的同时执行校正。
4. 完成校正后自动把结果反应在<Grid>领域的Z列上。手动进行时,手动给各
Head上依次插入CN040后,Vacuum对话框中确认Head的空压状态的同时下
Spindle执行校正。
5. 单击<Update>键把校准结果反映到设备。
正常的Z偏移值如下
Head1~ Head10: -1.5 ~ 1.5 mm
Z Offset超出该范围,则说明磁头有严重的器具性问题,
要确认home位置、主轴、LM和电动机的工作是否正常。