NXT 安装手册QD023-07.pdf - 第108页
3. 机器的安装 QD023-07 98 NXT 安装手册
QD023-07 3. 机器的安装
NXT 安装手册 97
信号电缆接线图 （自立 4M 基座 - 4M 基座）
请按照下图，进行各信号电缆的连接。
真空泵部的导线 （RH2130*、RH2131*、RH2133*）请不要穿入基座内部，在外部进行配线。
备注 ) 下图中，粗线的电缆表示基座连接导线 （AJ110**）。
3. 机器的安装 QD023-07
98 NXT 安装手册
QD023-07 3. 机器的安装
NXT 安装手册 99
气源配管的连接
＜在序列号到 294 为止的自立 4M 基座旁增设时＞
＜在序列号为 295 以后的自立 4M 基座旁增设时＞
基座的连接
完成信号电缆的连接及气源管的配管后，用专用支架连接相邻基座。请参照 [3.8.13 增设的
固定 ]。