NXT 安装手册QD023-07.pdf - 第44页

3. 机器的安装 QD023-07 34 NXT 安装手册 3.5 调整水平 请使用水平仪进行调整, 在保持基座的水平度的同时, 使模组搬运轨道的高度和电路 板的搬 运高度相一致。 3.5.1 调整水平方法 1. 拉出模组,在机器后部的测定位置 (研磨面)的 XY 方向上设置水平仪。 警告 可同时拉出一半的模组数量 是有限的。 (8M 基座的 M 3 模组最多可拉出 4 台,4M 基座的 M3 模组最多可拉出 2 台) 若拉出的模组数量…

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QD023-07 3. 机器的安装
NXT 安装手册 33
3.4.3 气源管
将外部供气软管与机器相连接,调节调节器使气压达到规定值。因为需要松开基座上的模
组,因此该操作必须在进行机器的水平调整之前完成。如果基座上未连接有模组,则此操作
无需在水平调整前进行。
连接方法
1. 在供气软管头上安装连接插座,并将该插座与机器的气源连接口相连接。
2. 将供气拉杆拉至 ON,向机器供气
3. 接通机器电源后,调节气压。
4. 向上拉动过滤调节器的把手,解除锁定。
5. 转动把手,调节气压,使其指向 0.5 MPa。
备注 ) 数字式压力表位于基座正面。
6. 按下过滤调节器的把手并将其锁定。
备注 ) 软管需另外配置。
警告
取下基座上的屏罩,并在其开口部分进行操作时,请留意没有其他操作者
在插入模组。因为插入的模组有可能将手指夹断。
3. 机器的安装 QD023-07
34 NXT 安装手册
3.5 调整水平
请使用水平仪进行调整,在保持基座的水平度的同时,使模组搬运轨道的高度和电路板的搬
运高度相一致。
3.5.1 调整水平方法
1. 拉出模组,在机器后部的测定位置 (研磨面)的 XY 方向上设置水平仪。
警告
可同时拉出一半的模组数量是有限的。(8M 基座的 M3 模组最多可拉出 4
台,4M 基座的 M3 模组最多可拉出 2 台)
若拉出的模组数量超过限制台数,整个机器会前倾,有可能会撞伤操作人
员。(尤其是在正面水平调整螺栓还未调整时)
QD023-07 3. 机器的安装
NXT 安装手册 35
2. 松开下图中水平调整螺栓的固定螺母。转动水平调整螺栓,使模组搬运轨道的高度和电
路板的搬运高度相一致。请一边进行各个测定处水平仪上的水平度确认,一边进行作业。
3. 然后,松开基座前侧水平调整螺栓的固定螺母。调整前侧水平调整螺栓,使得机器的重
量稍稍压上。
注意 ) 不要使在前侧水平调整螺栓上受到的机器重量太大,以免影响到基座的水平度。该前侧螺栓为
将模组拉出时支撑基座的辅助性物件。
4. 确保电路板搬运高度、机器水平度都正确后,请拧紧各锁定螺母。拧紧锁定螺母可能会
导致水平度发生改变。因此拧紧后请再次确认机器的水平度。
注意 ) 锁定螺母必须拧紧。否则机器可能会产生震动,影响贴装精确度。
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