NXT 安装手册QD023-07.pdf - 第70页
3. 机器的安装 QD023-07 60 NXT 安装手册 信号电缆接线图 （真空泵 BOX - 自立控制盘 - 2M 基座 - 2M 基座 - 2M 基 座 - 2M 基座） 请按照下图，进行各信号电缆的 连接。 图中号码 接线图 1 请按照 [3.8.4 对 2M 基 座增设 2M 基座 （1）] 的 该 标 记 页 中 记 载 的 接 线 图 ， 将 第1台2 M基 座 与自立控制盘连接。 2 请按照 [3.8.5 对 2M 基 …
QD023-07 3. 机器的安装
NXT 安装手册 59
基座 JP1 SW1 SW2 SW4 SW5 SW6
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3. 机器的安装 QD023-07
60 NXT 安装手册
信号电缆接线图 （真空泵 BOX - 自立控制盘 - 2M 基座 - 2M 基座 - 2M 基
座 - 2M 基座）
请按照下图，进行各信号电缆的连接。
图中号码 接线图
1 请按照 [3.8.4 对 2M 基座增设 2M 基座 （1）]
的该标记页中记载的接线图，将第1台2M基座
与自立控制盘连接。
2 请按照 [3.8.5 对 2M 基座增设 2M 基座 （2）]
的该标记页中记载的接线图，将第1台2M基座
与自立控制盘连接。
3 请按照 [3.8.4 对 2M 基座增设 2M 基座 （2）]
的该标记页中记载的接线图，连接第 2 台及第
3台的2M基座。
4 请按照该项的接线图，连接自立控制盘与真空泵 BOX。真空泵
的导线 （RH2141*、RH2142*、RH2143*）请不要穿入基座内
部，在外部进行配线。
QD023-07 3. 机器的安装
NXT 安装手册 61
气源配管的连接
基座的连接
完成信号电缆的连接及气源管的配管后，用专用支架连接相邻基座。请参照 [3.8.13 增设的
固定 ]。
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