NXT 安装手册QD023-07.pdf - 第86页

3. 机器的安装 QD023-07 76 NXT 安装手册气源配管的连接 < 在序列号 294 为止的自立 4M 基座旁增设时 >

QD023-07 3. 机器的安装

NXT 安装手册 75

4M 基座与真空泵 BOX 间的导线（RH2141*、RH2142*、RH2143*）请不要穿入基座内部，在外

部进行配线。

3. 机器的安装 QD023-07

76 NXT 安装手册

气源配管的连接

< 在序列号 294 为止的自立 4M 基座旁增设时 >

QD023-07 3. 机器的安装

NXT 安装手册 77

< 在序列号 295 以后的自立 4M 基座旁增设时 >

基座的连接

完成信号电缆的连接及气源管的配管后，用专用支架连接相邻基座。请参照 [3.8.13 增设的

固定 ]。

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