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第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要 1-9 ◆ 打开 安全盖 （安全 罩） 时， 先把 盖（ 罩 ） 子推上去 ， 再把锁杆 向箭头 （ LOC K ）方 向推， 锁好 。 确认上了锁之 后， 再放开 手。 ﹡没有上好 锁就松手时， 安全盖（安 全罩）有落下 来的危险。 ◆ 要关 安全 盖（安全罩） 时，要先解开锁，再 关闭。 把安全盖（安全 罩）向上提， 再把锁杆向 OPEN 方向推， 解锁。 （请注意，解 锁时要防止安全 盖（…
第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要
1-8
1-1-5 本装置的构成
①
②
⑦
③
⑤
⑧
⑥
④
⑤
⑨
①ATC 单元 ⑤OCC 单元(R) ⑨CAL 块单元 ⑬CVS 单元
②LNC120 Head 单元 ⑥VCS 单元 ⑩供料器台架单元 ⑭负荷控制单元
③Head 单元
8 贴片头
⑦X-Y 单元 ⑪HMS 单元 ⑮排出导轨
④OCC 单元(L) ⑧基板传送单元 ⑫废弃盒
①前侧液晶监视器 ④信号灯 ⑦真空泵（装置内左侧）
②操作面板
⑤迷你信号灯
(
选购项
)
⑧漏电断路器（后部
-
右侧）
③电源开关
⑥空气调节器（护盖（罩）内侧
）
⑨后侧液晶监视器
③
①
②
⑥
⑦
⑨
④
⑩
⑪
⑫
⑬
⑤
⑧
第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要
1-9
◆ 打开安全盖（安全罩）时，先把盖（ 罩）
子推上去，再把锁杆向箭头（LOCK）方
向推，锁好。确认上了锁之后，再放开手。
﹡没有上好锁就松手时，
安全盖（安全罩）有落下来的危险。
◆ 要关安全盖（安全罩）时，要先解开锁，再关闭。
把安全盖（安全罩）向上提，
再把锁杆向 OPEN 方向推，解锁。
（请注意，解锁时要防止安全盖（安全罩）落下来受伤。）
﹡不要在安全盖（安全罩）、手杆等处过渡增加负荷。
◆维护 ATC 或 XY、Head 时，
进入装置内部作业时，请特别注意不要从后面
撞到安全盖（安全罩）或监视器，不要撞到头，
作业时不要受伤。
＜开关安全盖（安全罩）时的注意事项＞
＜在装置内作业时的注意事项＞
注意不要撞到头部、身体
OPEN（打开）
LOCK（锁定）
第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要
1-10
1-2 本装置的构造
1-2-1 基板传送部分的构造
・ 基板传送部的构成 (单通道)
2
1
15
11
3
4
8
10
11
12
10
13
14
17
16
18
11
7
5
9
12
6
21
20
22
23
基板传送方向
1 IN
传感器
9
传送电磁阀
17
支撑销检出传感器受光
2 OUT
传感器
10
传送马达
18
挡块传感器
3 WAIT
传感器光缆受光
11
驱动轴
19
挡块
4 WAIT
传感器光缆发光
12
侧梁
20 (WAIT2
传感器光缆受光
)
5 C_OUT
传感器光缆受光
13
支撑台
IN
21 (WAIT2
传感器光缆发光
)
6 C_OUT
传感器光缆发光
14
支撑台
OUT
22 (WAIT2
传感器光缆受光
)
7 PWB
导轨
15
自动调整宽度马达
23 (WAIT2
传感器光缆发光
)
8 支撑台原点传感器
16
支撑销检出传感器发光
18
19