RS-1 使用说明书 用户使用 Rev01.pdf - 第299页
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3- 35 3) 卸下与真空泵 连接的空气管子、电源连 接器，松开用来固定真空 泵托架的内六角螺栓 (M6×2 ) ，卸下 泵支架。 ●更换 密封圈 1 ） 取下 泵头 盖 的 4 个（左右合 计共 8 个） 内六角螺栓 (M6×95) 。 2 ） 取下 泵头 盖 内侧的黑 色密封圈，共 2 个，更换上新的密封 圈。 ※请 确 认密封圈完全 放入 泵头盖 的密封 垫圈槽内 。 3 ） 请用 5.0N…
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-34
3)从真空泵拆下气管、成捆电线（电源线），卸下固定 VAC_PUMP_STAY 的六角头铰制孔用螺栓
(M6：13mm 扳手)及六角螺母。
4）将真空泵从主机里取出。
※取出时请注意成捆的电线。
※取出真空泵时，请勿把持连接管。
※取出真空泵时，有真空泵的橡胶脚和 VACUUM_PUMP_BR 粘着的情况。
连接管
电源
VACUUM PUMP STA
VACUUM PUMP BR
气管
六角头铰制孔用螺栓 x2
六角螺母×2
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-35
3) 卸下与真空泵连接的空气管子、电源连接器，松开用来固定真空泵托架的内六角螺栓(M6×2)，卸下
泵支架。
●更换密封圈
1） 取下泵头盖的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓(M6×95)。
2） 取下泵头盖内侧的黑色密封圈，共 2 个，更换上新的密封圈。
※请确认密封圈完全放入泵头盖的密封垫圈槽内。
3） 请用 5.0N・m 的力对角拧紧固定泵头盖用的内六角螺栓(M6×95)，使其关闭。
※更换其它消耗零件时，请不要关闭盖（罩），参照各部位的更换步骤操作。
●更换 O 环 P-10
1） 用与更换密封圈相同的要领，卸下泵头盖、连接管。
2） 把 O 环 P-10 安装到位于连接泵头盖之间的连接管。
3） 进行更换，插入连接管时请注意不要划伤 O 环。（1 根管内两侧有 2 处）
※更换前，请清扫连接管的 O 环沟、泵头的连接管安装孔。盖（罩）的安装，请按照密封圈的更换
顺序进行操作。在更换其它消耗零件时，请不要关闭盖（罩），参照各部位的更换步骤操作。
泵头盖内侧
O 环 P-10
密封圈
连接管
内六角螺栓(M6×95)
泵头盖
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-36
●
吸排气阀的更换
1） 拆下阀挡板。
2） 取出吸排气阀，更换新的吸排气阀。
※盖（ 罩 ）的安装，请按照密封圈的更换顺序进行操作。在更换其它消耗零件时，请不要关闭盖（ 罩 ），
参照各部位的更换步骤操作。
●更换气缸密封圈
1） 拆下气缸板。
2） 取下气缸密封圈，更换新的气缸密封圈。
※盖（ 罩 ）的安装，请按照密封圈的更换顺序进行操作。在更换其它消耗零件时，请不要关闭盖（ 罩 ），
参照各部位的更换步骤操作。
阀挡板
吸排气阀
气缸板
气缸密封圈