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第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制 9- 16 用画面中央的 按下式 按钮 ,可选择 控制 对象。 后面将详细说明 。 参见 9-4-1-1 控制对象:基板 传送 以后 的章节 。 No. 显示项目 显示图 显示内容 1 支撑台 挡块 支撑台挡 块处于 OFF 状态。 支撑台挡 块处于 ON 状态。 2 支撑台 原点传感器 支撑台 原点传感器处于 OFF 状态。 支撑台 原点传感器处于 ON 状态。 3 IN 缓冲选择 器 ・…

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2 功能详解篇 9 手动控制
9-15
9-4 传送系
9-4-1 传送控制
从下拉菜单中选择[传送系(C)]-[传送控制(V)]、或点击命令按钮中的[传送控制]后,可显示传送控制
画面。
选择菜单的[送系][送控制]后,即显示送控制的对话框。
在画面上部显示各传送传感器·传送马状态
IN 侧的传送挡块及挡块传感器在选项挡块生效时会显示。
把光标对准传感显示图上时,即可显示工具提示。上图显示的是各停止传感器马达传感器有关情况。
各传感器的显示图,请参见如下列表。
2 功能详解篇 9 手动控制
9-16
用画面中央的按下式按钮,可选择控制对象。
后面将详细说明参见 9-4-1-1 控制对象:基板传送以后的章节
No.
显示项目
显示图
显示内容
1 支撑台挡块
支撑台挡块处于 OFF 状态。
支撑台挡块处于 ON 状态。
2 支撑台原点传感器
支撑台原点传感器处于 OFF 状态。
支撑台原点传感器处于 ON 状态。
3
IN 缓冲选择
OUT 缓冲选择
IN/OUT 缓冲选择器处于 OFF 状态。
IN/OUT 缓冲选择器处于 ON 态。
4
准备搬入Ready In ·
准备搬出(Ready Out
Ready In/ Out 处于 OFF 状态。
Ready In/ Out 处于 ON 状态。
5
可以搬入基板
(Board available In)·
可以搬出基板
(Board available Out)
Board available In/Out 处于 OFF 态。
Board available In/Out 处于 ON 状态。
6 传送挡
传送挡块处于 OFF 状态
传送挡块处于 ON 状态
2 功能详解篇 9 手动控制
9-17
9-4-1-1 控制对象:基板传送
按下[基板传送]按钮,即可显示如下画面
(1) 状态
马达/传感器的状态,用 ON/OFF 显示。
(2) 控制项目
用单选按钮选择控制项目。
[执行]按钮后,即开始按选择的控制执行。
1)初始化
将基板传送进行初始化。
2)基板搬入
基板停止方式指定的方式搬入基板。
基板尺寸 X 应长尺寸基板,可以从下面的「夹紧位置」选择装载的位置
3)基板搬出
搬出基板。
4)基板固定解除
释放基板。
5)基板重夹
基板停止方式中指定的方式对传送通道上的基板进行重夹
基板尺寸 X 应长尺寸基板,可以从下面的「夹紧位置」选择重夹位置。
6) 2 夹紧
将基板安装到长尺寸基板第二段夹紧位置