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第 2 部功能详解篇第 9 章手动控制 9-1 第 9 章手动控制 9- 1 概要手动控制，是指为确认各部位的运行，或检查传感器 ON/OFF （开，关）的项目。使用的主要功能有：基板的准备 ( 请参见「 2-7-1 基板的设置」 ) ， Head 的移动，激光的确认等。还可检查 LED 是否发生故障 ( 一边使其点亮、灭灯，一边进行检查 ) 。主菜单子菜单内容 1 Head…

第 2 部功能详解篇第 8 章机器设置

8-56

8-4-7 单元 2

可进行MTS托盘控制。

选择[托盘控制]的[速度]，按下[扩展]按钮，可按选择的速度拉出托盘。

(1) 托盘段数

指定控制托盘的层数。

(2) 速度

指定托盘拉出时的速度。

(3) 扩展

拉出托盘。

第 2 部功能详解篇第 9 章手动控制

9-1

第

章

手动控制

9-1 概要

手动控制，是指为确认各部位的运行，或检查传感器ON/OFF（开，关）的项目。

使用的主要功能有：基板的准备(请参见「2-7-1 基板的设置」)，Head的移动，激光的确认等。

还可检查LED是否发生故障(一边使其点亮、灭灯，一边进行检查)。

主菜单

子菜单

内容

Head

1 Head 控制

以各 Head 为基准的 XY 轴移动控制，坐标显示。

各 Head 的 Z，

，ZA 轴移动控制，坐标显示

各 Head 的真空控制，吹气控制，压力值显示

2 Head 设备控制

以各 Head 装置(OCC，坏板标记传感器，HMS)为基

准的 XY 轴移动控制，坐标显示

各 Head 装置的控制，传感器状态显示

3 激光／传感器控制

各 Head 的真空控制，真空开／关显示

各 Head 的 Z 轴移动控制，坐标显示

算法切换，结果显示，

图像显示边缘检查，边缘检查显示

传送系 1 传送控制

基板传送，自动调整基板宽度，传送马达控制，

支撑台控制，信号的状态显示

供应设备

1 电动送料器

返回原点，正转（反转）1

间距传送，任意量传送，

正转（反转）步进动作，属性设定，切割控制

MTS 控制

托盘控制，状态显示

4 其他

ATC 控制

ATC 滑板控制，传感器状态显示，吸嘴吸取控制

2 信号灯控制

信号灯控制，警报器控制，状态显示

3 其他控制

LED 控制，真空控制，状态显示，真空泵控制

4 其它传感器气压降低传感器等的状态显示

5 驱动器状况 X，Y，Z，

轴驱动器的状态显示

6 伺服状态伺服状态显示

7 元件验证控制探针控制，元件计测，状态显示

8 切割控制切割控制

9 VCS 控制 VCS 控制

第 2 部功能详解篇第 9 章手动控制

9-2

9-2 手动控制的启动与退出

9-2-1 启动手动控制

从菜单选择[维护]→[手动控制]，即可显示如下的手动控制初始画面。