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第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3- 20 1) 统一更换台 车要定期清 扫。此外，在安 装带式供料器等 供料器类之 前，若发现有芯片元 件等异物时， 要用吸尘器等进 行清扫。 2) 请确认「台 架定位销」 （两侧）附近没 有芯片元件等异 物。 1 ） 将统一更换台车 插入主机前，如 果台架升降机 上面有芯片元件 等异物，请用 吸尘器等清扫。 2 ） 请确认「台架定 位销」 （两侧）附近没 有芯片元件等 异物。 清扫部位 3-2-…
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-19
1) 「滑动盘①」上若有芯片或垃圾，会成为吸嘴装卸不畅的原因。
请用抹布沾上酒精进行清扫。
1) 请定期进行供料器台架的清扫。
此外，在安装带式供料器等供料器类之前，若发现有芯片元件等异物，请用吸尘器进行清扫。
清扫部位
3-2-8 ATC 单元
实施频度：每周
清扫内容 清扫 ATC 的灰尘、异物 使用工具：抹布
推荐溶剂：IPA
清扫部位
3-2-9 供料器台架
实施频度：每周
清扫内容 清扫供料器台架的灰尘、异物 使用工具：毛刷 吸尘器
①
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-20
1) 统一更换台车要定期清扫。此外，在安装带式供料器等供料器类之前，若发现有芯片元件等异物时，
要用吸尘器等进行清扫。
2) 请确认「台架定位销」（两侧）附近没有芯片元件等异物。
1） 将统一更换台车插入主机前，如果台架升降机上面有芯片元件等异物，请用吸尘器等清扫。
2） 请确认「台架定位销」（两侧）附近没有芯片元件等异物。
清扫部位
3-2-10 统一更换台车
实施频度：每周
清扫内容 清扫供料器台架的灰尘、异物 使用工具：毛刷 吸尘器
清扫部位
3-2-11 台架升降机
实施频度：每周
清扫内容
清扫台架升降机上面
的灰尘、异物
使用工具：毛刷 吸尘器
台架定位销（两侧）
台架升降机 L 台架升降机 R
O 环
台架定位销（两侧）
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3-21
1) 请检查 OCC 的偏光滤光片上有无灰尘或异物。
有灰尘或异物时，请用气枪去除。
清扫部位
3-2-12 OCC（偏光滤光片）
实施频度： 每周
清扫内容 清扫 OCC（偏光滤光片）的灰尘、异物 使用工具： 气枪
偏光滤光片