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2. 2 각 축의 점검 ( 매월 ) 3- 7 2.3 X, Y , W 축의 청소 • 급 유 ( 격 월 ) 3- 8 2.3. 1 X,Y ,W축볼스크 류 의청소 • 급유 3- 8 2.3.2 X,Y ,W 축리 니 어가이 드의청소 • 급 유 3 -1 1 2.4 PU( 푸 쉬업 ) 축의 점검 • 청소 와 급 유 ( 격월 ) 3- 1 3 2.5 기판반 송 벨 트 의 점검과 청소 …
총목차
머리말
1. 각 장의 내용 i
2. 유지보수 항목일람 ii
제 1 장 유지보수에 대하여
1. 장비의 성능을 유지하기 위해서는 1-1
1.1 필수조건 및 환경조건 1-1
1.2 정기적인 점검
•
청소의 중요성 1-1
2. 유지보수 작업의 준비 1-2
2.1 소모품과 교환부품 ( 고장시 ) 1-2
2.1.1 소모품 1-2
2.1.2 교환부품 ( 고장시 ) 1-4
2.2 유지보수 공구 1-5
2.2.1 클리닝공구 1-5
2.2.2 급유공구
•
그리스 1-7
2.3 필요공구 1-9
제 2 장 일상 유지보수 항목
작업하기 전에 2-1
1. 노즐상태의 확인 2-2
1.1 소프트웨어로 확인하기 2-2
1.2 육안으로 확인하기 2-4
2. 피더 플레이트의 청소 2-5
3. 카메라 보호 글래스의 청소 2-6
제 3 장 정기적인 유지보수 항목
1. 매주 3-1
1.1 노즐의 점검과 청소 3-1
1.1.1 버핑부의점검과청소 3-1
1.1.2 판스프링의확인 3-3
1.1.3 노즐선단의청소 3-3
1.2 컨베이어 센서의 상태
•
동작확인 3-4
1.3 기판클램프의 상태
•
동작확인 3-5
1.3.1 기판클램프상태의확인 3-5
1.3.2 기판클램프동작의확인 3-5
2. 매월 또는 격월 3-6
2.1 노즐 에어경로의 청소 ( 매월 ) 3-6
2.2 각 축의 점검 ( 매월 ) 3-7
2.3 X, Y, W 축의 청소
•
급유 ( 격월 ) 3-8
2.3.1 X,Y,W축볼스크류의청소
•
급유 3-8
2.3.2 X,Y,W 축리니어가이드의청소
•
급유 3-11
2.4 PU( 푸쉬업 ) 축의 점검
•
청소와 급유 ( 격월 ) 3-13
2.5 기판반송 벨트의 점검과 청소 ( 격월 ) 3-15
3. 3 개월 3-16
3.1 이젝터필터의 청소
•
교환 3-16
3.1.1 이젝터진공압력의점검 3-17
3.1.2 블로우밸브의동작확인 ( 각헤드별 ) 3-18
3.1.3 청소용블로우밸브의동작확인 ( 연동 ) 3-18
3.2 스플라인 샤프트내의 청소
•
급유 3-19
3.2.1 스플라인샤프트내의세척 3-19
3.2.2 부압상태의확인 3-22
3.3 스플라인 샤프트의 동작확인과 급유 3-23
3.4 SC 축 플렉스 케이블의 확인 (YS12P) 3-24
3.5 에어 / 미스트필터의 점검
•
청소 3-25
3.6 6 각 스플라인의 청소
•
급유 3-27
4. 6 개월 /1 년 3-28
4.1 피듀셜 카메라 조명유니트의 청소 (6 개월 ) 3-28
4.2 R 축 스플라인 벨트의 상태확인 (1 년 ) 3-29
4.3 블로우 스테이션 필터의 청소와 교환 (1 년 )--- 옵션 3-30
4.4 노즐스테이션 센서의 상태확인 (1 년 )--- 옵션 3-31
4.5 컨트롤러용 필터 점검
•
청소 (1 년 ) 3-32
4.6 멀티카메라 조명 (1 년 ) 3-33
4.7 스캔 카메라 조명 (6 개월 )---YS12P 3-34
제 4 장 소모품의 교환방법
1. 노즐 판스프링의 교환 4-1
2. 이젝터부 4-2
2.1 이젝터 BIT 의 교환 4-2
2.2 솔레노이드 코일의 교환 4-3
2.3 청소용 블로우 밸브의 교환 4-4
3. 기판반송부의 청소와 벨트교환 4-5
4. 급유개소 일람표 4-7
4.1 X 축 리니어가이드와 볼스크류 4-7
4.2 Y 축 리니어가이드와 볼스크류 4-8
4.3 PU 축 볼가이드와 볼스크류 4-8
