YS12P_YS12F_YG12F_Mainte_K.pdf - 第57页

3-5 3 1 .3 기 판 클램 프 의 상태 • 동 작확 인 1 . 3. 1 기판클 램프 상태 의 확인 기 판의 클램프 상태 에 관하 여 하 기 의 항 목 을 확인하 여 주 십시 오 . 1 . 기판클램프했 을때에 ,기판에반 동현 상 이없 을것 . 2. 기 판 클램 프했 을때 에 ,기판누름플레 이 트와기판 과 의사이에틈 새가없 을것 . 3. 기 판 클램 프했…

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3-4
3
1.2 컨베이어 센서의 상태
•
동작확인
본 장비에서는 컨베이어 센서로서 투과형 파이버 센서를 사용하고 있습니다 .
컨베이어 레일폭을 변경해도 센서가 정확하게 동작하는지 확인할 필요가 있습니다 .
컨베이어 센서의 상태, 동작확인
투광
수광
5730 5 - L 6 - 00
1
「장치」-「컨베이어」탭을 선택합니다 .
2
「컨베이어폭」버튼을 눌러서 컨베이어
폭을 변경합니다 .
컨베이어폭변경대화창이표시되므로 ,컨베이어
폭을입력하고[OK] 버튼을눌러주십시오 .
컨베이어가지정된폭으로변경됩니다 .
3
에러발생 유무를 확인합니다 .
컨베이어폭을변경했을때 ,에러메시지가표시되
지않으면 ,컨베이어센서는정상적으로동작하고
있으므로 ,다른조정은불필요합니다 .
58300-L6-00
■ 에러 메시지가 표시되었을 경우에는 , 다음 순서에 따라서 센서를 조정해 주십시오 .
•
컨베이어 센서의 조정방법
컨베이어폭을변경했을때 ,에러가발생한경우에는 ,
컨베이어센서로부터의출력상태를확인합니다 .
1.[ 장치 ]-「I/O」탭을선택합니다 .
2.출력모니터 (Output) 의드롭다운리스트에서「컨베
이어」를선택합니다 .
3.「컨베이어센서튜닝」(T01000E-1) 을선택합니다 .
4.[ON/OFF] 버튼을눌러서0(OFF) → 1(ON) →
0(OFF) 로전환해서 ,자동튜닝을실행합니다 .
5.재차[ 컨베이어폭 ] 버튼을누르고컨베이어폭을변경
시켜서 ,에러메시지가표시되지않으면 ,센서가정
상적으로동작하고있습니다 .
5830 1-L6 - 0 0
컨베이어 센서의 확인
Step 1-3
컨베이어 센서의 튜닝
2
3
4
3-5
3
1.3 기판클램프의 상태
•
동작확인
1.3.1 기판클램프 상태의 확인
기판의 클램프 상태에 관하여 하기의 항목을 확인하여 주십시오 .
1.기판클램프했을때에 ,기판에반동현상이없을것 .
2.기판클램프했을때에 ,기판누름플레이트와기판과
의사이에틈새가없을것 .
3.기판클램프했을때에 ,컨베이어레일상면과기판과
의단차가발생하지않을것 .
4.기판클램프유니트의동작이원활할것 .
57312-L6- 00
1.3.2 기판클램프 동작의 확인
1
「장치」-「컨베이어」탭을 선택합니다 .
2
[ 컨베이어폭 ] 버튼을 눌러서 기판폭을
입력합니다 .
컨베이어폭변경대화창의「변경후의컨베이어폭」
란에기판폭을입력하고[OK] 버튼을눌러주십시
오 .컨베이어가지정된폭으로이동합니다 .
3
기판두께를 입력합니다 .
[ 푸쉬업 ] 버튼을누르면 ,대화창이표시됩니다 .
[ 두께 ] 란에기판두께를입력하고[OK] 버튼을눌
러주십시오 .
4
[ 기판클램프 ] 버튼을 눌러서 기판을
클램프합니다 .
5
재차 [ 기판클램프 ] 버튼을 누르면
기판이 언클램프 됩니다 .
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“Step4,5”의 기판클램프•언클램프를 반복해서
실행하여 , 동작이 안정되어 있는지 확인합니다 .
클램프 상태의 확인
기판누름과의 틈새가 없을 것.
클램프시, 단차가 없는 것을 확인한다.
클램프와 언클램프를
실행해서, 확인한다.
동작의 확인
Step 2-5
Step2
Step3
Step4, Step5
3-6
3
2. 매월 또는 격월
여기에서는점검후의청소및급유를중심으로실행합니다 .
2.1 노즐 에어경로의 청소 ( 매월 )
e
1
노즐을 분리합니다 .
비상정지버튼을눌러서 ,노즐을분리하여주십시
오 .작업을안전하게하기위해 ,반드시장비를
비상정지상태로하여주십시오 .
c
주의
노즐스테이션 ( 옵션 ) 을장착한장비는 ,반드시노즐을스테
이션에장착하여주십시오 .
2
에어블로우 합니다 .
노즐내부를노즐의양사이드에서에어건으로불
어주십시오 .
57306-L6-10
n
요점
오염이 심할 경우는 , 하기의 Step3,4 를 실행해 주십시오 .
3
노즐구멍을 청소합니다 .
노즐구멍에노즐청소용와이어를통과시켜청소해
주십시오 .우측그림과같이손가락에끼우거나
전용핸들을사용해서와이어를고정하고노즐을
움직여서청소합니다 .
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4
에어블로우 합니다 .
위에서통과시킨노즐청소용와이어를빼고 ,노즐
내부를Step2 와같이에어건으로불어주십시오 .
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계속해서 버핑부의 점검•청소를 실시해 주십시오 .
( 본 장 「1.1.1 버핑부의 점검과 청소」참조 )
에어블로우
Step 2
노즐 선단을
끼우고 블로우
에어튜브(검은색)
에어건
(옵션)
에어튜브(오렌지색)
에어공급부에
노즐 장착부에서
블로우
노즐구멍의 청소
Step 3
전용핸들
(옵션)
노즐 노즐청소용 와이어
에어블로우
Step 4
노즐 에어건
(옵션)