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4. 6 개월 / 1 년 3- 2 8 4 .1 피듀셜 카메 라 조명유니트 의 청 소 ( 6 개월 ) 3- 2 8 4.2 R 축 스 플라 인 벨 트 의 상태확 인 ( 1 년 ) 3 -2 9 4.3 블로우 스테 이션 필터의 청소 와 교환 ( 1 년 )- -- 옵 션 3-3 0 4.4 노즐 스테이션 센 서의 상 태확인 ( 1 년 )--- 옵 션 3-3 1 4.5 컨트롤러용 필터 점검 • 청 소 (…
제 3 장 정기적인 유지보수 항목
목차
1. 매주 3-1
1.1 노즐의 점검과 청소 3-1
1.1.1 버핑부의점검과청소 3-1
1.1.2 판스프링의확인 3-3
1.1.3 노즐선단의청소 3-3
1.2 컨베이어 센서의 상태
•
동작확인 3-4
1.3 기판클램프의 상태
•
동작확인 3-5
1.3.1 기판클램프상태의확인 3-5
1.3.2 기판클램프동작의확인 3-5
2. 매월 또는 격월 3-6
2.1 노즐 에어경로의 청소 ( 매월 ) 3-6
2.2 각 축의 점검 ( 매월 ) 3-7
2.3 X, Y, W 축의 청소
•
급유 ( 격월 ) 3-8
2.3.1 X,Y,W축볼스크류의청소
•
급유 3-8
2.3.2 X,Y,W 축리니어가이드의청소
•
급유 3-11
2.4 PU( 푸쉬업 ) 축의 점검
•
청소와 급유 ( 격월 ) 3-13
2.5 기판반송 벨트의 점검과 청소 ( 격월 ) 3-15
3. 3 개월 3-16
3.1 이젝터필터의 청소
•
교환 3-16
3.1.1 이젝터진공압력의점검 3-17
3.1.2 블로우밸브의동작확인 ( 각헤드별 ) 3-18
3.1.3 청소용블로우밸브의동작확인 ( 연동 ) 3-18
3.2 스플라인 샤프트내의 청소
•
급유 3-19
3.2.1 스플라인샤프트내의세척 3-19
3.2.2 부압상태의확인 3-22
3.3 스플라인 샤프트의 동작확인과 급유 3-23
3.4 SC 축 플렉스 케이블의 확인 (YS12P) 3-24
3.5 에어 / 미스트필터의 점검
•
청소 3-25
3.6 6 각 스플라인의 청소
•
급유 3-27
3-1
3
1. 매주
여기에서는매주간격으로점검
•
청소를중심으로설명합니다 .
1.1 노즐의 점검과 청소
버핑동작 ( 스프링 동작 ) 의 불량은 흡착에러의 원인이 됩니다 . 이것을 막기 위해 각 노즐의 청소를 해 주십
시오 .
1.1.1 버핑부의 점검과 청소
■ 버핑상태의 확인
노즐의버핑상태를확인하여주십시오 .눌러봐서정상으로돌아오면문제가없지만 ,복귀동작이나쁘면흡착
에러나인식에러가발생합니다 .
노즐의 버핑상태
노즐 선단을 손가락으로 누른다
제자리로 돌아온다
복귀동작이 나쁘다
복귀되지 않는다
OK NG
57300-L6-00