YS12P_YS12F_YG12F_Mainte_K.pdf - 第90页

4-3 4 2.2 솔레노이 드 코 일 의 교 환 1 공 급에 어와 장비의 전원을 차단합 니다 . 소프트웨 어 를종 료 하 고장비의전 원 스위치 를O FF 한후 ,장비좌 측하단판넬안의 「에 어 공급 / 배 출」 밸 브 를우측 으로돌려서에 어 공급을차단 해주십 시오 . 57 405-L6-00 2 헤드를 작 업하기 쉬운 위치로 이동시킵 니다 . 3 이젝터용 하네 스 의 컨…

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4-2
4
2. 이젝터부
2.1 이젝터 BIT 의 교환
1
공급에어를 차단합니다 .
장비좌측하단판넬안의「에어공급 / 배출」밸브
를우측으로돌려서에어공급을차단해주십시오 .
2
헤드를 작업하기 쉬운 위치로 이동시킵
니다 .
3
정류판을 분리합니다 .
육각렌치로정류판을고정하고있는볼트를빼주
십시오 .
57402-L6-00
4
BIT 를 손으로 당겨서 뺍니다 .
육각렌치로캡을좌측으로돌려서빼주십시오 .
BIT 의선단이보이면손으로당겨서뺍니다 .
57403-L6-00
c
주의
교환한BIT 는재사용할수없습니다 .재사용하면정상적인
부품흡착을할수없게될가능성이있습니다 .
5
BIT 장착부를 청소합니다 .
옵션구입품인에어건과광학계청소용면봉등으
로장착부의먼지나더러움을제거합니다 .
6
새 BIT 를 장착합니다 .
먼저캡에O 링을끼운후 ,새로운BIT 를캡에끼
웁니다 .BIT 를장착부의구멍에삽입하고 ,캡을
우측으로돌려서잠급니다 .
57404-L6 -00
c
주의
BIT 의캡이정상적으로잠겨져있지않으면 ,진공동작시
BIT 가빠져나올우려가있으므로 ,반드시확인해주십시오 .
c
주의
BIT 를삽입하고캡을끼울때 ,O 링이빠지지않도록주의해
주십시오 .
7
정류판을 원상태로 장착합니다 .
육각렌치로Step3 에서탈착시킨정류판을원상
태로장착해주십시오 .
8
에어를 공급합니다 .
장비좌측하단판넬안의「에어공급 / 배출」밸브
를좌측으로돌려서에어를공급해주십시오 .
BIT의 분리
O링 캡BIT
Step 4
BIT 장착부
BIT의 장착
O링
Step 6
정류판의 분리
Step 3
정류판(Baffle Plate)
4-3
4
2.2 솔레노이드 코일의 교환
1
공급에어와 장비의 전원을 차단합니다 .
소프트웨어를종료하고장비의전원스위치를OFF
한후 ,장비좌측하단판넬안의「에어공급 / 배출」
밸브를우측으로돌려서에어공급을차단해주십
시오 .
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2
헤드를 작업하기 쉬운 위치로 이동시킵
니다 .
3
이젝터용 하네스의 컨넥터를 분리합니
다.
이젝터용하네스의컨넥터를모두빼주십시오 .
4
솔레노이드 코일을 분리합니다 .
십자정밀드라이버를사용해서솔레노이드코일을
고정하고있는나사 (2 개 ) 를분리하여주십시오 .
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5
새 솔레노이드 코일을 장착합니다 .
c
주의
솔레노이드코일을교환할경우는개스킷이끼워져있으므
로 ,떨어뜨리지않도록주의해주십시오 .
6
하네스를 접속합니다 .
이젝터용하네스의컨넥터를원상태로접속시켜
주십시오 .
7
공급에어와 장비의 전원을 투입합니다 .
장비를기동하고원점복귀를해주십시오 .
8
동작을 확인합니다 .
제 3 장「3.1.2블로우밸브의동작확인」과같은
방법으로부압을발생시켜 ,이상수치가나오지않
는지확인하여주십시오 .
공급에어를 차단한다
Step 1
에어공급/배출
밸브
솔레노이드 코일의 분리
Step 4
십자 정밀드라이버
솔레노이드 코일
개스킷
4-4
4
2.3 청소용 블로우 밸브의 교환
1
공급에어와 장비의 전원을 차단합니다 .
소프트웨어를종료하고장비의전원스위치를OFF
한후 ,장비좌측하단판넬안의「에어공급 / 배출」
밸브를우측으로돌려서에어공급을차단해주십
시오 .
2
헤드를 작업하기 쉬운 위치까지 이동시
킵니다 .
3
청소용 블로우밸브의 컨넥터를 분리합
니다 .
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c
주의
컨넥터를분리할때는하네스를당기지않도록해주십시오 .
4
청소용 블로우밸브를 분리합니다 .
십자정밀드라이버로블로우밸브의고정나사2 개
를풀고 ,블로우밸브를분리하여주십시오 .
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5
Step4 와 역순으로 새로운 청소용 블
로우밸브를 장착합니다 .
에어호스와컨넥터도원상태로접속시켜주십시
오.
c
주의
개스킷의분실 ,앞뒤 ,끼임에주의하여주십시오 .
6
공급에어와 장비의 전원을 투입합니다 .
장비를기동하고원점복귀를해주십시오 .
7
동작을 확인합니다 .
제 3 장「3.1.3청소용블로우밸브의동작확인」과
같은방법으로부압을발생시켜 ,이상수치가나오
지않는지확인하여주십시오 .
컨넥터의 분리
Step 3
블로우용 컨넥터
블로우 밸브
청소용 블로우밸브의 분리
Step 4
십자 정밀드라이버
블로우밸브