YS12P_YS12F_YG12F_Mainte_K.pdf - 第88页
4-1 4 1 . 노 즐 판 스 프 링의 교 환 e 1 비상 정지 버튼 을 누 릅니다 . 작 업 을안전 하게하 기위해 ,반드시장비 를비 상 정 지상태로하여주 십 시 오 . 2 노즐 을 분리합니다 . 교환할판스프 링이부착되 어있 는노 즐을손 으로 빼주십시 오 . 3 노즐 판 스 프링을 분리합니다 . 샤프트 를뒤 에서지 탱 하면서 ,십자드 라이버 로나 사를…
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1. 노즐 판스프링의 교환
e
1
비상정지 버튼을 누릅니다 .
작업을안전하게하기위해 ,반드시장비를비상
정지상태로하여주십시오 .
2
노즐을 분리합니다 .
교환할판스프링이부착되어있는노즐을손으로
빼주십시오 .
3
노즐 판스프링을 분리합니다 .
샤프트를뒤에서지탱하면서 ,십자드라이버로나
사를풀고 ,불량판스프링을노즐홀더로부터분리
하여주십시오 .
57400-M7- 00
c
주의
노즐홀더를고정하고있는나사는풀지마십시오 .
4
새 노즐 판스프링을 부착합니다 .
샤프트를뒤에서지탱하면서 ,십자드라이버로장
착나사를조여주십시오 .
57401-M7- 0 0
5
노즐을 장착합니다 .
6
장착상태를 확인합니다 .
1. 노즐판스프링과노즐사이에틈새가없는지
확인합니다 .
2. 노즐의탈착을손으로수차례반복해서 ,느슨
하지않은지확인합니다 .
노즐 판스프링의 분리
Step 3
노즐홀더
노즐 판스프링
고정용 나사
노즐 판스프링
노즐 판스프링의 부착
Step 4
정밀 드라이버 판스프링
4-2
4
2. 이젝터부
2.1 이젝터 BIT 의 교환
1
공급에어를 차단합니다 .
장비좌측하단판넬안의「에어공급 / 배출」밸브
를우측으로돌려서에어공급을차단해주십시오 .
2
헤드를 작업하기 쉬운 위치로 이동시킵
니다 .
3
정류판을 분리합니다 .
육각렌치로정류판을고정하고있는볼트를빼주
십시오 .
57402-L6-00
4
BIT 를 손으로 당겨서 뺍니다 .
육각렌치로캡을좌측으로돌려서빼주십시오 .
BIT 의선단이보이면손으로당겨서뺍니다 .
57403-L6-00
c
주의
교환한BIT 는재사용할수없습니다 .재사용하면정상적인
부품흡착을할수없게될가능성이있습니다 .
5
BIT 장착부를 청소합니다 .
옵션구입품인에어건과광학계청소용면봉등으
로장착부의먼지나더러움을제거합니다 .
6
새 BIT 를 장착합니다 .
먼저캡에O 링을끼운후 ,새로운BIT 를캡에끼
웁니다 .BIT 를장착부의구멍에삽입하고 ,캡을
우측으로돌려서잠급니다 .
57404-L6 -00
c
주의
BIT 의캡이정상적으로잠겨져있지않으면 ,진공동작시
BIT 가빠져나올우려가있으므로 ,반드시확인해주십시오 .
c
주의
BIT 를삽입하고캡을끼울때 ,O 링이빠지지않도록주의해
주십시오 .
7
정류판을 원상태로 장착합니다 .
육각렌치로Step3 에서탈착시킨정류판을원상
태로장착해주십시오 .
8
에어를 공급합니다 .
장비좌측하단판넬안의「에어공급 / 배출」밸브
를좌측으로돌려서에어를공급해주십시오 .
BIT의 분리
O링 캡BIT
Step 4
BIT 장착부
BIT의 장착
O링
Step 6
정류판의 분리
Step 3
정류판(Baffle Plate)