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제 3 장 정 기 적 인 유 지 보수 항 목 목차 1 . 매주 3- 1 1 . 1 노즐의 점검과 청소 3- 1 1 . 1 . 1 버 핑 부 의점 검 과청 소 3 - 1 1 . 1 .2 판스프 링의확인 3 - 3 1 . 1 .3 노 즐선 단의청소 3- 3 1 . 2 컨베이어 센 서의 상태 • 동 작확 인 3- 4 1 .3 기판 클램 프 의 상태 • 동 작확 인 3- 5 1 .…
2-6
2
3. 카메라 보호 글래스의 청소
멀티뷰카메라의보호글래스에먼지가묻어있으면 ,부품인식에러의원인이됩니다 .이것을막기위해정기적
으로점검
•
청소할것을권장합니다 .
e
작업을안전하게하기위해 ,장비가비상정지상태 ,또는장비의전원스위치가OFF 로되어있는지확인하여
주십시오 .
1
광학계 브러시로 보호 글래스상의 먼지
를 털어냅니다 .
5720 3-L6- 0 0
참고
광학계 브러시는 옵션 구입품입니다 .
2
헝겊으로 보호 글래스를 닦습니다 .
헝겊에렌즈클리너를몇방울묻혀서보호글래스
를닦아주십시오 .
57204-L6- 0 0
n
요점
헝겊은 먼지가 나지 않는 것을 사용하여 주십시오 .
렌즈클리너는 옵션 구입품입니다 .
광학계 브러시로 먼지를 털어낸다
Step 1
광학계 브러시
헝겊으로 보호 글래스를 닦는다
Step 2
먼지가 나지 않는 헝겊
제 3 장 정기적인 유지보수 항목
목차
1. 매주 3-1
1.1 노즐의 점검과 청소 3-1
1.1.1 버핑부의점검과청소 3-1
1.1.2 판스프링의확인 3-3
1.1.3 노즐선단의청소 3-3
1.2 컨베이어 센서의 상태
•
동작확인 3-4
1.3 기판클램프의 상태
•
동작확인 3-5
1.3.1 기판클램프상태의확인 3-5
1.3.2 기판클램프동작의확인 3-5
2. 매월 또는 격월 3-6
2.1 노즐 에어경로의 청소 ( 매월 ) 3-6
2.2 각 축의 점검 ( 매월 ) 3-7
2.3 X, Y, W 축의 청소
•
급유 ( 격월 ) 3-8
2.3.1 X,Y,W축볼스크류의청소
•
급유 3-8
2.3.2 X,Y,W 축리니어가이드의청소
•
급유 3-11
2.4 PU( 푸쉬업 ) 축의 점검
•
청소와 급유 ( 격월 ) 3-13
2.5 기판반송 벨트의 점검과 청소 ( 격월 ) 3-15
3. 3 개월 3-16
3.1 이젝터필터의 청소
•
교환 3-16
3.1.1 이젝터진공압력의점검 3-17
3.1.2 블로우밸브의동작확인 ( 각헤드별 ) 3-18
3.1.3 청소용블로우밸브의동작확인 ( 연동 ) 3-18
3.2 스플라인 샤프트내의 청소
•
급유 3-19
3.2.1 스플라인샤프트내의세척 3-19
3.2.2 부압상태의확인 3-22
3.3 스플라인 샤프트의 동작확인과 급유 3-23
3.4 SC 축 플렉스 케이블의 확인 (YS12P) 3-24
3.5 에어 / 미스트필터의 점검
•
청소 3-25
3.6 6 각 스플라인의 청소
•
급유 3-27
