YS12P_YS12F_YG12F_Mainte_K.pdf - 第91页
4-4 4 2.3 청소용 블 로우 밸브 의 교환 1 공 급에 어와 장비의 전원을 차단합 니다 . 소프트웨 어 를종 료 하 고장비의전 원 스위치 를O FF 한후 ,장비좌 측하단판넬안의 「에 어 공급 / 배 출」 밸 브 를우측 으로돌려서에 어 공급을차단 해주십 시오 . 2 헤드를 작 업하기 쉬운 위치까 지 이동시 킵니다 . 3 청소용 블로 우밸 브 의 컨넥터를 분리합 니…
4-3
4
2.2 솔레노이드 코일의 교환
1
공급에어와 장비의 전원을 차단합니다 .
소프트웨어를종료하고장비의전원스위치를OFF
한후 ,장비좌측하단판넬안의「에어공급 / 배출」
밸브를우측으로돌려서에어공급을차단해주십
시오 .
57405-L6-00
2
헤드를 작업하기 쉬운 위치로 이동시킵
니다 .
3
이젝터용 하네스의 컨넥터를 분리합니
다.
이젝터용하네스의컨넥터를모두빼주십시오 .
4
솔레노이드 코일을 분리합니다 .
십자정밀드라이버를사용해서솔레노이드코일을
고정하고있는나사 (2 개 ) 를분리하여주십시오 .
57406 -L6-00
5
새 솔레노이드 코일을 장착합니다 .
c
주의
솔레노이드코일을교환할경우는개스킷이끼워져있으므
로 ,떨어뜨리지않도록주의해주십시오 .
6
하네스를 접속합니다 .
이젝터용하네스의컨넥터를원상태로접속시켜
주십시오 .
7
공급에어와 장비의 전원을 투입합니다 .
장비를기동하고원점복귀를해주십시오 .
8
동작을 확인합니다 .
제 3 장「3.1.2블로우밸브의동작확인」과같은
방법으로부압을발생시켜 ,이상수치가나오지않
는지확인하여주십시오 .
공급에어를 차단한다
Step 1
에어공급/배출
밸브
솔레노이드 코일의 분리
Step 4
십자 정밀드라이버
솔레노이드 코일
개스킷
4-4
4
2.3 청소용 블로우 밸브의 교환
1
공급에어와 장비의 전원을 차단합니다 .
소프트웨어를종료하고장비의전원스위치를OFF
한후 ,장비좌측하단판넬안의「에어공급 / 배출」
밸브를우측으로돌려서에어공급을차단해주십
시오 .
2
헤드를 작업하기 쉬운 위치까지 이동시
킵니다 .
3
청소용 블로우밸브의 컨넥터를 분리합
니다 .
47407-L6-0 0
c
주의
컨넥터를분리할때는하네스를당기지않도록해주십시오 .
4
청소용 블로우밸브를 분리합니다 .
십자정밀드라이버로블로우밸브의고정나사2 개
를풀고 ,블로우밸브를분리하여주십시오 .
57408-L6-0 0
5
Step4 와 역순으로 새로운 청소용 블
로우밸브를 장착합니다 .
에어호스와컨넥터도원상태로접속시켜주십시
오.
c
주의
개스킷의분실 ,앞뒤 ,끼임에주의하여주십시오 .
6
공급에어와 장비의 전원을 투입합니다 .
장비를기동하고원점복귀를해주십시오 .
7
동작을 확인합니다 .
제 3 장「3.1.3청소용블로우밸브의동작확인」과
같은방법으로부압을발생시켜 ,이상수치가나오
지않는지확인하여주십시오 .
컨넥터의 분리
Step 3
블로우용 컨넥터
블로우 밸브
청소용 블로우밸브의 분리
Step 4
십자 정밀드라이버
블로우밸브
4-5
4
3. 기판반송부의 청소와 벨트교환
e
1
비상정지 버튼을 누릅니다 .
작업을안전하게하기위해 ,반드시장비를비상
정지상태로해주십시오 .
2
벨트를 풉니다 .
육각렌치 (4) 로텐셔너볼트를풀고 , 긴구멍끝까
지(푸는방향 )텐셔너볼트를이동시켜주십시오 .
57409-L6-0 0
3
벨트를 분리합니다 .
육각렌치 (3) 로벨트구동용풀리의볼트를풀고 ,
샤프트를약간당깁니다 .벨트를풀리로부터분리
해서샤프트와의틈새로부터빼내어주십시오 .
57410-L6-00
4
기판클램프 Assy 를 분리합니다 .
육각렌치 (3) 로기판클램프Assy고정볼트 (4 군
데 ) 를풀어서기판클램프Assy 를분리해주십시
오.
57411-L 6 -0 0
벨트텐션을 푼다
Step 2
텐셔너 볼트
샤프트의 분리
Step 3
샤프트
구동용 풀리
기판클램프 Assy를 분리한다
Step 4
기판클램프 Assy 기판클램프 Assy 고정볼트