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3-1 1 3 2.3 .2 X, Y , W 축 리니 어가이드의 청소 • 급유 e 1 비상 정지 버튼 을 누 릅니다 . 작 업 을안전 하게하 기위해 ,반드시장비 를비 상 정 지상태로해주십 시 오 . 2 리니어가 이드를 청소합니다 . 1 . 각축을한쪽으로이 동 시 키 고나서 ,리 니어 가 이 드전체 를먼지 가나 지않는종이와이퍼 ( 크 린룸 용 ) 로 닦 …

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4
그리스를 도포합니다 .
1. X 축 ,Y 축
그리스건을준비하고 ,그리스니플로부터지정
그리스 (NSL) 를주입하여주십시오 .축을손
으로움직인후 ,여분의그리스를닦아주십시
오.
2. W 축
손에지정그리스 (NSL) 를묻혀서볼스크류의
표면및리드홈에균일하게발라주십시오 .
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커버를 원상태로 부착합니다 .
그리스비산방지커버를분리했을때와역순으로
부착시켜주십시오 .
볼스크류의 그리스업
Step 4
X축 볼스크류부
그리스 니플
Y축 볼스크류부
그리스 니플(우)
Y축 볼스크류부
그리스 니플(좌)
X축
W축
W축 볼스크류
Y축

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3
2.3.2 X, Y, W 축 리니어가이드의 청소
•
급유
e
1
비상정지 버튼을 누릅니다 .
작업을안전하게하기위해 ,반드시장비를비상
정지상태로해주십시오 .
2
리니어가이드를 청소합니다 .
1. 각축을한쪽으로이동시키고나서 ,리니어가
이드전체를먼지가나지않는종이와이퍼( 크
린룸용 ) 로닦습니다 .
2. 그다음 ,축을반대쪽으로이동시켜 ,반대쪽
의리니어가이드도닦습니다 .
(X 축 ,Y 축 ,W 축 )
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c
주의
리니어가이드레일의이동홈도정성스럽게닦아주십시오 .
리니어가이드의 청소
Step 2
가이드레일 종이 와이퍼

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3
그리스를 도포합니다 .
1. X 축
그리스건을사용해서 ,X 축리니어가이드용그
리스니플로부터지정그리스 (NSL) 를주입합
니다 .
그리스니플은 ,헤드부뒷면의좌우에2 개씩
( 상하리니어가이드의위치에 )있습니다 .
( 합계4 군데 )
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2. Y1,Y2 축
그리스건을사용하여 ,Y 축리니어가이드용그
리스니플로부터지정그리스 (NSL) 를주입합
니다 .
그리스니플은 ,각Y 축리니어가이드
•
슬라
이더전후에있습니다 .( 합계4 군데 )
노즐의장착은 ,그리스니플방향에맞춥니다 .
57316-L6-00
c
주의
Y 축의전후벤트형그리스니플은 ,노즐방향에맞추어그리
스건노즐을똑바로삽입해주십시오 .각도가어긋나면니플
의파손또는느슨해져서빠져버릴수가있습니다 .신중하게
삽입해주십시오 .
3. W 축
그리스건을사용하여 ,W 축리니어가이드용
그리스니플로부터지정그리스 (NSL) 를주입
합니다 .
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여분의 그리스를 닦아냅니다 .
손으로축을수차례이동시킨후 ,여분의그리스
를닦아냅니다 .
X축 리니어가이드의 그리스업
Step 3-1
그리스 니플(소)
그리스 니플(대:홀더헤드에 설치)
Y축 리니어가이드의 그리스업
Step 3-2
Y축 리니어가이드부
그리스 니플
Y축 리니어가이드부 그리스 니플 계 4군데
W축 리니어가이드의 그리스업
Step 3-3
그리스 건그리스 니플