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3-26 3 ■ 필터의 청 소 1 필터컵을 분리합니다 . 전 항 「필 터컵 의청 소 」를참조 하 여주십시 오 . 2 에어필터를 분리합니다 . 흰색부분을돌려서 ( 위에 서봐서시 계 방향 으로 ) 필터 를분리해주십 시 오 . 57334 - L 6 - 0 0 3 에어필터의 오염을 청소합니다 . 에 어건 으로에어 필터 의오 염 을불어주 십 시 오 .오 염 이심 해서제 …

3-25
3
3.5 에어 / 미스트필터의 점검
•
청소
에어 컴프레서내의 오일 , 물 , 불순물 등이 장비 안으로 유입되지 않도록 , 에어 / 미스트필터가 사용되고 있
습니다 . 이들 필터의 점검•청소방법을 다음과 같이 설명합니다 . ( 에어커플러에 가까운 쪽이 에어필터 ,
먼 쪽이 미스트필터입니다 .)
■ 필터 컵의 청소
1
컵 안을 체크합니다 .
컵안에오일또는물이들어있는지확인해주십
시오 .오염되어있을경우는 ,아래의순서에따라
서청소하여주십시오 .
참고
컵 하단의 드레인콕은 , 오토드레인 타입입니다. 컵 안에 오
일이나 물이 차면 자동적으로 배출되므로 , 호스 등을 연결
할 것을 권장합니다 .
2
에어 커플러를 분리합니다 .
c
주의
오일 ,물 ,불순물이튀지않도록주의하여주십시오 .
커플러를뺄때에큰에어배기음이나므로주의하여주십시
오.
3
컵을 분리합니다 .
컵의버튼을누르면서왼쪽으로돌려 ,밑으로빼
주십시오 .
57332 - L6- 0 0
4
컵 안의 오염을 청소합니다 .
1. 컵을가볍게물세척합니다 .
2. 물을섞은중성세제로다시안을씻어냅니다 .
3. 에어블로우한후 ,헝겊으로수분을닦습니다 .
57333 - L6-0 0
5
컵을 장착합니다 .
1. 컵버튼을분리시킨위치에맞추어 ,컵을위로
올려서끼웁니다 .
2. 찰칵하고소리가날때까지컵을오른쪽으로
돌려주십시오 .
n
요점
계속해서 필터청소를 할 경우는 , 컵을 분리한 상태로 다음
항목「필터의 청소」로 이동해 주십시오 .
6
에어 커플러를 장착합니다 .
에어커플러를접속하고 ,에어가새지않는지확
인하여주십시오 .
컵 분리
Step 3
필터 컵
버튼
컵의 세척
Step 4
필터 컵
물을 섞은 중성세제

3-26
3
■ 필터의 청소
1
필터컵을 분리합니다 .
전항「필터컵의청소」를참조하여주십시오 .
2
에어필터를 분리합니다 .
흰색부분을돌려서 ( 위에서봐서시계방향으로 )
필터를분리해주십시오 .
57334 - L6-00
3
에어필터의 오염을 청소합니다 .
에어건으로에어필터의오염을불어주십시오 .오
염이심해서제거할수없는경우는 ,에어필터를
교환하여주십시오 .
4
에어필터를 장착합니다 .
흰색부분을돌려서에어필터를원상태로장착하
여주십시오 .
57335 - L6- 0 0
5
필터컵을 장착합니다 .
n
요점
상기와 똑같은 순서로 미스트필터의 청소도 실행해 주십시
오.
에어필터의 분리
Step 2
이곳을 잡고 돌려서 분리한다.
에어필터의 장착
Step 4
필터

3-27
3
3.6 6 각 스플라인의 청소
•
급유
W축 컨베이어의 6 각 스플라인의 청소와 급유 방법에 대해서 설명합니다. 급유개소와 급유형태에 관해서는,
제 4 장의「급유개소 일람표」를 참조해 주십시오 . 그리스건과 지정 그리스 (NSL) 를 준비하여 주십시오 .
1
6 각 스플라인부를 청소합니다 .
1. 수동조작으로기판폭을최대로설정한후 ,비
상정지상태로합니다 .
e
2. 6 각스플라인전체를먼지가나지않는종이
와이퍼 ( 크린룸용 )등으로오래된그리스나
더러움을제거합니다 .
3. 비상정지를해제하고 ,기판폭을좁혀서남은
다른부분의오래된그리스나더러움도제거합
니다 .
57348-M7-00
2
그리스를 도포합니다 .
손에지정그리스 (NSL) 를묻혀서6 각스플라인
의표면에균일하게도포해주십시오 .
n
요점
Step1 과 같은 식으로 기판폭을 조정해서 6 각 스플라인
전체를 균일하게 도포해 주십시오 .
57349-M7-0 0
6각 스플라인의 청소
Step 1
종이 와이퍼
6각 스플라인의 그리스 도포
Step 2
그리스