YS24X_Mainte_K.pdf - 第133页
6-4 6 █ 판스 프 링 장착 툴이 있을 경우 HM 헤드의 노즐 판 스 프링을 장 착할 때에는 , 옵션 구입품 「판스프링 장착 툴 ( P /N : K GS- M8 8 1 0 -0 0X) 」 를 사 용함으로 서 , 보다 균일하 게 판 스 프링을 장 착할 수가 있습니다 . n 요점 이 툴을 소 유 하 고 계 실 경 우에 는 , 툴을 사 용 해 서 판 스프 링 을 장 착하실 것 을 권 장 합 니…

6-3
6
2. 노즐 판스프링의 교환
제 3 장「1.1.2 노즐 판스프링의 상태확인」을 실행한 결과 , 이상이 확인되었을 경우에는 , 노즐 판스프링의 교환
이 필요합니다 . 다음과 같이 노즐 판스프링의 교환 방법에 대해서 설명합니다 . 판스프링 장착툴을 소유하고
계실 경우는 , 후술의「
█
판스프링 장착툴이 있을 경우」참조해 주십시오 .
c
주의
노즐 판스프링은 한쪽만 노화되었을 경우라도 , 반드시 한 쌍으로 부품 교환을 해 주십시오 .
█
판스프링 장착툴이 없을 경우
e
1
노즐을 분리합니다 .
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전커버를
오픈합니다 .
2. 대차 사양의 경우는 , 대차를 탈착합니다 .
3. 사각건을 헤드 유닛의 밑에 깔아둡니다 .
4. 교환할 판스프링이 장착되어 있는 노즐을 손으
로 빼 주십시오 .
c
주의
노즐 스테이션을 겸비하고 있을 경우는 , 모든 노즐을 노즐
스테이션에 수납해 주십시오 .
2
판스프링을 탈착합니다 .
샤프트를 지탱하면서 , 정밀 일자 드라이버로 장착
나사를 분리하고 , 교환할 판스프링을 탈착해 주십
시오 .
57602-L4-00
c
주의
노즐 홀더를 고정하고 있는 장착 나사는 분리하지 마십시오 .
3
새로운 판스프링을 장착합니다 .
새 판스프링을 위로 밀어 올리면서 , 정밀 십자
드라이버로 장착 나사를 체결해 주십시오 .
57603-L4-00
c
주의
판스프링은 반드시 평행하게 되도록 장착해 주십시오 .
4
노즐을 장착합니다 .
5
장착 상태를 확인합니다 .
1. 노즐을 끼워서 판스프링과 노즐의 사이에 틈새
가 없는지 확인합니다 .
2. 노즐의 탈장착을 수차례 반복해서 , 느슨하지
않는지 확인해 주십시오 .
3. 깔아둔 사각건을 정리합니다 .
c
주의
노즐은 탈착한 헤드에 반드시 되돌려 주십시오 .
노즐 스테이션 ( 옵션 ) 에서 노즐을 탈착했을 경우에는 , 탈착
한 위치에 정확하게 수납해 주십시오 .
노즐 판스프링의 탈착
Step 2
노즐홀더
노즐 판스프링 고정용 나사
노즐 판스프링
노즐 판스프링의 장착
Step 3
정밀 드라이버 판스프링

6-4
6
█
판스프링 장착툴이 있을 경우
HM 헤드의 노즐 판스프링을 장착할 때에는 , 옵션 구입품 「판스프링 장착 툴 (P/N:KGS-M8810-00X)」 를 사용함으로서 ,
보다 균일하게 판스프링을 장착할 수가 있습니다 .
n
요점
이 툴을 소유하고 계실 경우에는 , 툴을 사용해서 판스프링을 장착하실 것을 권장합니다.
e
1
노즐을 분리합니다 .
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전커버를
오픈합니다 .
2. 대차를 사용하고 있을 경우는 , 대차를 탈착합
니다 .
3. 사각건을 헤드 유닛의 밑에 깔아둡니다 .
4. 교환할 판스프링이 장착되어 있는 노즐을 손으
로 빼 주십시오 .
c
주의
노즐 스테이션을 겸비하고 있을 경우는 , 모든 노즐을 노즐
스테이션에 수납해 주십시오 .
2
판스프링을 탈착합니다 .
샤프트를 지탱하면서 , 정밀 일자 드라이버로 장착
나사를 분리하고 , 교환할 판스프링을 탈착해 주십
시오 .
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c
주의
노즐 홀더를 고정하고 있는 장착 나사는 분리하지 마십시오 .
3
새로운 판스프링을 임시 장착합니다 .
판스프링 장착나사를 살짝 조여서 임시로 장착해
둡니다 .
4
판스프링 장착툴을 끼웁니다 .
장착툴을 홈과 판스프링의 돌기부가 서로 맞물리
도록 , 장착툴을 노즐 샤프트에 끼웁니다 .
장착툴은 위쪽 끝까지 끼워 주십시오 .
5
판스프링을 고정합니다 .
손으로 판스프링의 돌기부와 장착툴의 홈을 지탱
한 상태에서 , 정밀 십자 드라이버로 장착 나사를
체결해 주십시오 .
6
판스프링의 장착상태를 확인합니다 .
장착툴의 홈과 판스프링의 돌기부와의 사이에 틈
새가 없이 밀착되어 있는지 확인해 주십시오 .
57605-L4-00
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장착툴을 뺍니다 .
8
장착 상태를 확인합니다 .
1. 노즐의 탈장착을 수차례 반복해서 , 느슨하지
않은지 확인해 주십시오 .
2. 깔아둔 사각건을 정리합니다 .
c
주의
노즐은 탈착한 헤드에 반드시 되돌려 주십시오 . 노즐 스테이
션 ( 옵션 ) 에서 노즐을 탈착한 경우에는 , 원위치에 정확하게
수납해 주십시오 .
Step 4,5
윗쪽 끝까지 끼운다
판스프링 장착툴
손가락으로 지탱하면서 장착나사 체결
판스프링 장착툴의 사용
판스프링 장착상태 확인
판스프링의 돌기부와 장착툴의 홈이 밀착되어 있을 것
Step 6

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6
3. 이젝터부
3.1 이젝터 BIT 의 교환
1
공급에어와 장비의 전원을 차단합니다 .
장비 좌측하단 패널 안의「에어공급 / 배출」밸브
를 우측으로 돌려서 에어공급을 차단해 주십시오 .
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2
헤드 ( 테이블 ) 를 작업하기 쉬운 위치로
이동시킵니다 .
1. B 테이블의 작업은 XA 축의 위에서 손을 넣어
실행합니다 .
2. A 테이블의 작업은 장비의 뒤쪽으로 이동하여
XB 축의 위에서부터 실행합니다 .
3
정류판을 탈착합니다 .
1. 헤드의 바로 밑에 사각건을 깔아둡니다 .
2. 육각렌치로 정류판을 탈착해 주십시오 .
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4
BIT 를 손으로 당겨서 빼냅니다 .
육각렌치로 캡을 좌측으로 돌려서 빼 주십시오 .
BIT 의 선단이 보이므로, 손으로 당겨서 빼냅니다.
c
주의
교환한 BIT 는 재사용 할 수 없습니다 . 재사용하면 정상적인
부품흡착을 할 수 없게 될 가능성이 있습니다 .
5
BIT 장착부를 청소합니다 .
옵션 구입품인 에어건과 광학계 청소용 면봉 등으
로 장착부의 먼지나 더러움을 제거합니다 .
6
새로운 BIT 를 장착합니다 .
먼저 캡에 O 링을 끼운 다음 , 새로운 BIT 를 캡에
끼웁니다 . BIT 를 장착부의 구멍에 삽입하고 , 캡
을 우측으로 돌려서 잠급니다 .
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c
주의
BIT 의 캡이 정상적으로 잠겨져 있는지 확인해 주십시오 .
또한 , BIT 를 삽입하고 캡을 끼울때 , O 링이 빠져 나오지 않
도록 주의해 주십시오 .
7
정류판을 원상태로 장착합니다 .
1. 육각렌치로 Step3 에서 탈착시킨 정류판을 원
상태로 장착해 주십시오 .
2. 사각건을 정리합니다 .
8
에어를 공급합니다 .
장비 좌측하단 패널 안의「에어 공급 / 배출」밸브
를 좌측으로 돌려서 에어를 공급해 주십시오 .
공급에어의 차단
Step 1
에어공급/배출 밸브
정류판의 탈착
육각렌치정류판
Step 3
BIT의 분리
O링 캡BIT
Step 4
BIT 장착부