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ii 2. 유 지보 수 항 목 일 람 ■ 점검항목 일람 ●: 실시 ○ : 점검결과 , 트러블 발생시에 실시 △ : 폐사 또는 대리점에 연락 섹션 항목 대상 일상 매주 매월 3 개월 6 개월 이상 고장시 청소 급유 교환 조정 헤드유닛 노즐 에어 경 로 ● ● ○ 버핑 ● ○ ○ ○ 흡착 면 상태 ● ● ○ 판스 프링 상태 ● ○ ○ 스플라인 샤 프트 내부 에어 경로 ● ● 이젝터 유닛 필터 ●…

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1. 장의
본서장으로 구성되 .
1 장 유지보수대하
장비의 성능을 위한 사용상의 환경에 합니 . 나아평상소작업의
습니 . 또한 , 유지보수 작업을 하기 준비로서 , 소모품이나 유지공구에 대해서설명
하고 있습니다 .
2 장 일상적인 지보수
장비의 성능을 위해일상적작업으로서 , 확인
소를 하는 중요 . 업을 실행으로
트러블을 미연 , 장비최적상태로 사용할 습니 .
3 장 정기적인 유지보수
장비의 성능을 위해정기으로 실행작업이 있습니 . 내용에 따라서」,월」,「2 개월」,
「3 월」,「6 개」,「1 년」등간이 있습니 . 여기 , 점검
소에 블어 스크급유
실행합니다 .
4 장 옵션부유지보
본체옵션 ( , UPS , 노즐 스테 ) 유지해서 합니 .
본체 (sATSII, QFP 스테이션 , UPS) 상세관해서 ,「YS 옵션 매뉴얼」참조
십시오 .
5 장 급유개일람
3 「정기적유지항목」에 설명축의 유에 대해서 , 급유 , 급유 툴 , 주기 등해서
하고 있습니다 .
6 장 소모품의 교환방법
스프링젝터 소모교환방법에 습니 .
c
주의
수 작을 실기 전에 , 반드시 권전의 길잡이」를 읽어 주십 .
ii
2. 유지보
점검항목 일람
●:
실시
   ○ :
점검결과 , 트러블 발생시에 실시
   △ :
폐사 또는 대리점에 연락
섹션 항목 대상 일상 매주 매월 3 개월
6 개월
이상
고장시 청소 급유 교환 조정
헤드유닛
노즐
에어 경
버핑
흡착상태
판스프링 상태
스플라인 프트 내부 에어 경로
이젝터 유닛
필터
진공압
블로우 밸
스플라인 프트 (Z) 상태
R 스플라인 벨트 상태 1년
그리퍼 노즐 (OP) 상태 / 동작
부품공급 피더 플레이트 상태
XY
X축
볼스크류
2 개월
가이드
2 개월
Y축
볼스크류
2 개월
리니스케일
컨베이어부
기판 센서 상태 /
기판 클램프 상태 / 동작
기판 반송 컨베이어 벨트 2 개월
(PU 축 ) 볼스크류
2 개월
W 축 (DL, SL)
W1 , W3 축 (DS)
볼스크류
6 개월
가이드
6 개월
6 스플라인 샤프
6 개월
W2 축 (DS)
볼스크류
3 개월
가이드
3 개월
6 스플라인 샤프
3 개월
인식장치
피듀셜 카메라 , 반사판
멀티 카메라 글래스
기타
오나이저 (OP) 필터
2년
UPS(OP) 배터리
3년
노즐 스테이션 (OP) ANC 센서보 1년
에어 / 미스트 필터 필터
DS : 듀얼 스테이지 , SL : 싱글 레인 DL : 듀얼 레인
1 유지보수에 대하여
목차
1. 장비의 성능유지위해서는 1-1
1.1 필수조건 환경조건 1-1
1.2 정기적인 점검과 청소중요성 1-2
2. 유지보수 작업의 준비 1-3
2.1 모품과 교환부 ( 고장시 ) 1-3
2.1.1 소모 1-3
2.1.2 1-6
2.1.2 환부품 ( 장시 ) 1-8
2.2 유지보수 공구 1-9
2.2.1 클리 1-9
2.2.2
리스 1-11
2.2.3 스페셜 1-13
2.4 필요공 1-14