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제 3 장 정 기적 인 유지 보수 항 목 목차 1 . 매주 3- 1 1 . 1 노즐의 점검 3- 1 1 . 1 . 1 노 즐 탄 성 력의 확인 3- 1 1 . 1 .2 노 즐 판스프 링의 상태확인 3- 2 1 . 2 노즐의 청소 3- 3 1 .2. 1 노 즐 스프 링 의 청소와 급 유 3 -3 1 .2.2 노 즐 선 단부의 청소 3- 4 1 .3 그리퍼 노즐 ( 옵 션 ) 의 청소 와 급유 …

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2. 피레이청소
플레상에 물질이 떨어 , 팅을 할 물질끼여흡착위탈을 발생
됩니 . 이것막기 으로 점검
권장합니 .
러시로
부속 브러시를 사용해서 다음과 같소해 주십시 .
청소용 브러시
피더 플레이트의 청소
쓰레받기
브러시를 사용
57202-L4-00
청소또는 버큠 ASSY( )
소기 또는 옵션인 버큠 ASSY(KHY-M88V0-A0X) 장비 정면커넥속해서 , 미세물질
빨아 듯이 소해 주 .
피더 플레이트의 청소
버큠 ASSY
버큠 ASSY를 사용
57203-L4-00
3 기적인 유지보수 항
목차
1. 매주 3-1
1.1 노즐의 점검 3-1
1.1.1 력의 확인 3-1
1.1.2 판스프링의 상태확인 3-2
1.2 노즐의 청소 3-3
1.2.1 스프청소와 3-3
1.2.2 단부의 청소 3-4
1.3 그리퍼 노즐 ( ) 청소급유 3-6
1.3.1 리퍼 노즐 3-6
1.3.2 그리청소와 3-6
1.4 컨베이어 서의 태와 작확인 3-8
1.5 기판 클램태와 작확 3-9
1.5.1 클램프의 3-9
1.5.2 클램프의 동작 3-9
1.6 Y 리니어 케일부 3-10
1.7 멀티 카메호글래청소 3-11
2. 매월 3-12
2.1 노즐 에어경로 3-12
2.2 축의 점검 3-13
3. 2 개월 3-14
3.1 X , Y 축의 청소와 3-14
3.1.1 X 스크류의
3-14
3.1.2 X 가이드의 소와 급유 3-18
3.1.3 Y 가이드의 소와 급유 3-19
3.2 PU 축의 청소 3-20
3.3 컨베이어 점검과 청소 3-22
4. 3 3-28
4.1 이젝터 필터의 소와 3-28
4.2 이젝터 공압력의 점검 3-29
4.3
블로우 밸브청소블로우 확인 3-30
4.4 플라인 샤프 3-32
4.4.1 스플라인 샤프트 3-32
4.4.2 상태확인 3-35
4.4.3 스플라인 샤프트의 Z 동작확인 3-36
4.4.4 스플라인 샤프트 주변확인과 3-36
4.4.5 스플라인 샤프트의 급유 ( 요시에 ) 3-37
4.5 에어 / 미스필터의 점검과 교환 3-38
4.6 U (W2 ) 청소 ( 듀얼 스테이지 ) 3-40
5. 6 3-42
5.1 피듀셜 카메라의 청소 3-42
5.2 W 축의 소와 급유 3-43
6. 1 3-45
6.1 R 플라태확인 (1 ) 3-45