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제 3 장 정 기적 인 유지 보수 항 목 목차 1 . 매주 3- 1 1 . 1 노즐의 점검 3- 1 1 . 1 . 1 노 즐 탄 성 력의 확인 3- 1 1 . 1 .2 노 즐 판스프 링의 상태확인 3- 2 1 . 2 노즐의 청소 3- 3 1 .2. 1 노 즐 스프 링 의 청소와 급 유 3 -3 1 .2.2 노 즐 선 단부의 청소 3- 4 1 .3 그리퍼 노즐 ( 옵 션 ) 의 청소 와 급유 …

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2. 피더 플레이트의 청소
피더 플레이트상에 칩과 이물질이 떨어져 있으면 , 피더세팅을 할 때 이물질이 끼여서 흡착위치의 이탈을 발생시
키는 원인이 됩니다 . 이것을 막기 위해 정기적으로 점검
•
청소할 것을 권장합니다 .
■ 부속 브러시로 청소
부속 브러시를 사용해서 다음과 같이 청소해 주십시오 .
청소용 브러시
피더 플레이트의 청소
쓰레받기
브러시를 사용
57202-L4-00
■ 청소기 또는 버큠 ASSY( 옵션 ) 로 청소
가정용 청소기 또는 옵션인 버큠 ASSY(KHY-M88V0-A0X) 를 장비 정면의 에어 커넥터에 접속해서 , 미세한 이물질 등
을 빨아 들이듯이 청소해 주십시오 .
피더 플레이트의 청소
버큠 ASSY
버큠 ASSY를 사용
57203-L4-00

제 3 장 정기적인 유지보수 항목
목차
1. 매주 3-1
1.1 노즐의 점검 3-1
1.1.1 노즐 탄성력의 확인 3-1
1.1.2 노즐 판스프링의 상태확인 3-2
1.2 노즐의 청소 3-3
1.2.1 노즐 스프링의 청소와 급유 3-3
1.2.2 노즐 선단부의 청소 3-4
1.3 그리퍼 노즐 ( 옵션 ) 의 청소와 급유 3-6
1.3.1 그리퍼 노즐의 점검 3-6
1.3.2 그리퍼 노즐의 청소와 급유 3-6
1.4 컨베이어 센서의 상태와 동작확인 3-8
1.5 기판 클램프의 상태와 동작확인 3-9
1.5.1 기판 클램프의 상태 확인 3-9
1.5.2 기판 클램프의 동작 확인 3-9
1.6 Y 축 리니어 스케일부의 청소 3-10
1.7 멀티 카메라 보호글래스의 청소 3-11
2. 매월 3-12
2.1 노즐 에어경로의 청소 3-12
2.2 각 축의 점검 3-13
3. 2 개월 3-14
3.1 X 축 , Y 축의 청소와 급유 3-14
3.1.1 X 축 볼스크류의 청소
•
급유 3-14
3.1.2 X 축 가이드의 청소와 급유 3-18
3.1.3 Y 축 가이드의 청소와 급유 3-19
3.2 PU 축의 청소와 급유 3-20
3.3 컨베이어 벨트의 점검과 청소 3-22
4. 3 개월 3-28
4.1 이젝터 필터의 청소와 교환 3-28
4.2 이젝터 진공압력의 점검 3-29
4.3
각 헤드의 블로우 밸브와 청소용 블로우 밸브의 동작확인 3-30

4.4 스플라인 샤프트 3-32
4.4.1 스플라인 샤프트 내부의 세정 3-32
4.4.2 부압 상태의 확인 3-35
4.4.3 스플라인 샤프트의 Z 축 동작확인 3-36
4.4.4 스플라인 샤프트 주변의 확인과 청소 3-36
4.4.5 스플라인 샤프트의 급유 ( 필요시에만 ) 3-37
4.5 에어 / 미스트 필터의 점검과 교환 3-38
4.6 U 축 (W2 축 ) 의 청소와 급유 ( 듀얼 스테이지 ) 3-40
5. 6 개월 3-42
5.1 피듀셜 카메라의 청소 3-42
5.2 W 축의 청소와 급유 3-43
6. 1 년 3-45
6.1 R 축 스플라인 벨트의 상태확인 (1 년 ) 3-45