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3-6 3 1 .3 그리퍼 노즐 ( 옵 션 ) 의 청소와 급 유 커 넥 터 등 의 탑 재 에 사용 할 그 리 퍼 노 즐 도 정 기 적 으로 점 검 하 고 , 청 소 와 급 유 를 실 시 할 필 요가 있 습 니 다 . n 요점 그 리 퍼 노 즐은 특 수 형 상 부품 의 흡장 착에 사 용 합 니 다 . 부 품 의 형 상에 맞 춰 서 선 정 하 며 , 특주 로 제 작 합 니 다 . 1 .3 . 1…

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3
5
노즐 선단리닝니다 .
즐선클리프의 점착면노즐
수직으로 수차례 부착시켜서 움을 제거
니다 .
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c
c
주의
즐을 테프에 부착킨 상에서 , 노즐을 돌리나 기
면 테프의 점착면이 노즐에 부착될 우려가 있습니 .
6
노즐 프링부에 급유합니다 .
전술의「1.2.1 스프링소와 급유
조해즐의 스프부에 급유해 주십 .
7
노즐드에 되돌립니다 .
탈착한 즐을 드의 원위되돌려 주 .
n
요점
즐 스서 노즐을 탈한 경우에 , 노즐 스
납 위에 되돌려 주십 .
노즐선단 클리닝 테이프
Step 5
노즐선단 클리닝 테이프
점착면
노즐을 수직으로 부착시킨다
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3
1.3 그리퍼 노즐 ( ) 청소와
사용으로 , 요가 .
n
요점
퍼 노즐은 특수 형상 부품의 흡장착에 사 . 부의 형상에 맞서 선 , 특주로 제.
1.3.1 그리퍼 노즐의 점검
부를 으로 눌러 .
동작 , 복원쁘거 , 부품흡착
. 술을 급유주십 .
, 확인. 부에 모가 우에 ,
즐을 주십 .
그리퍼 노즐의 점검
Type30ALD 노즐의 예
그리퍼부가 마모되어 있지 않을 것
더러움이나 먼지 등이 없을 것
원활하게 동작할 것
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1.3.2 그리퍼 노즐의 청소
e
1
노즐합니다 .
1. 비상정튼을 르고 , 장비의 안전
오픈합니다 .
2. 드로 부터 청소노즐을 탈착합니 .
스테이션우는 ,
[ 노즐 STN 셔터 ] 으로 스테이션
셔터열어서 노즐을 탈착해 .
2
노즐의 작부청소합니다 .
그리노즐동작부에 움이먼지쌓여
우는 , ( ) 으로 제거
니다 .
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에어 블로우
Step2
에어 블로우 툴
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3
3
초음파 척기로 노즐세정합니다 .
1. 초음세척내의 용기 ( 비커 등 ) 노즐을
넣습니다 .
2. 기에 노즐이 충분히 잠길때 IPA
니다 .
3. 초음세척기에 물습니 .
4. 초음세척10 분정도 실행합니 .
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4
에어 로우니다 .
1. 초음세척에서 즐을 .
2. 전체우해서 IPA 제거
. 노즐스프링부와 경로점적
주십시 .
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5
그리퍼 노즐유합니다 .
1. 면봉 드라이버단에 량의
터빈유 묻힙니다 .
2. 즐의 동부에 터빈유를 합니 .
3. 즐을 수차례 동작시켜서 , 동작부에
스며들게 합니다 .
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n
요점
는 얇은 막의 유분이 생길 정면 충분.
6
거합니다 .
1. 에어 동작부를 에어 우해서 ,
유분을 제거합니 .
2. 봉이지가 나지 와이퍼 등으로
동작부 주유분을 아냅니 .
7
노즐의 태를 확인합니다 .
1. 탈착한 헤드의 치에 노즐을 장착합니 .
스테이션에서 즐을 탈착했우는 ,
즐을 노즐 스테이되돌후에
[ 노즐변 ] 버튼으로 노즐을 장착합니
다.
2. [ 장치 ]-「헤에서 , 하는 헤드의
[ ] 버튼눌러서 , 그리퍼 즐이 원활하
닫히는합니
3. [ 진공 ] 버튼눌러서 , 상태를
합니 . 그리노즐이 원활하게 열리는
확인해 주십시 .
n
요점
즐 스서 노즐을 탈한 경우에는 노즐 스
납 위에 되돌려 주십 .
초음파 세척기
Step3
초음파 세척기
비커
물을 넣는다
IPA를 넣는다
Step4
에어 블로우
에어 블로우
그리퍼 노즐의 급유
Step 5
면봉 또는 정밀 드라이버에
터빈유를 소량 묻히다
터빈유를 스며들게 한다