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2. UPS( 무정전 전원장치 ) 4- 4 2. 1 UPS 배터리의 교환 (3 년 ) 4-4 3. 노즐 스테이션 4- 5 3. 1 노즐 스 테이션 센 서의 상 태확 인과 청소 ( 1 년 ) 4-5 제 5 장 급 유개소 일 람 1 . 급 유 준비 5- 1 1 . 1 적용 구리 스 5- 1 1 .2 구리스건 5- 1 2. 급 유개소 와 주기 5- 2 2. 1 X 축 5-2 2. 2 Y 축 5- …
1.4 컨베이어 센서의 상태와 동작확인 3-8
1.5 기판 클램프의 상태와 동작확인 3-9
1.5.1 기판 클램프의 상태 확인 3-9
1.5.2 기판 클램프의 동작 확인 3-9
1.6 Y 축 리니어 스케일부의 청소 3-10
1.7 멀티 카메라 보호글래스의 청소 3-11
2. 매월 3-12
2.1 노즐 에어경로의 청소 3-12
2.2 각 축의 점검 3-13
3. 2 개월 3-14
3.1 X 축 , Y 축의 청소와 급유 3-14
3.1.1 X 축 볼스크류의 청소
•
급유 3-14
3.1.2 X 축 가이드의 청소와 급유 3-18
3.1.3 Y 축 가이드의 청소와 급유 3-19
3.2 PU 축의 청소와 급유 3-20
3.3 컨베이어 벨트의 점검과 청소 3-22
4. 3 개월 3-28
4.1 이젝터 필터의 청소와 교환 3-28
4.2 이젝터 진공압력의 점검 3-29
4.3
각 헤드의 블로우 밸브와 청소용 블로우 밸브의 동작확인 3-30
4.4 스플라인 샤프트 3-32
4.4.1 스플라인 샤프트 내부의 세정 3-32
4.4.2 부압 상태의 확인 3-35
4.4.3 스플라인 샤프트의 Z 축 동작확인 3-36
4.4.4 스플라인 샤프트 주변의 확인과 청소 3-36
4.4.5 스플라인 샤프트의 급유 ( 필요시에만 ) 3-37
4.5 에어 / 미스트 필터의 점검과 교환 3-38
4.6 U 축 (W2 축 ) 의 청소와 급유 ( 듀얼 스테이지 ) 3-40
5. 6 개월 3-42
5.1 피듀셜 카메라의 청소 3-42
5.2 W 축의 청소와 급유 3-43
6. 1 년 3-45
6.1 R 축 스플라인 벨트의 상태확인 (1 년 ) 3-45
제 4 장 옵션부의 유지보수
1. 이오나이저 4-1
1.1 이오나이저 방전침의 청소 ( 매월 ) 4-2
1.2 이오나이저 방전침의 교환 (2 년 ) 4-3
2. UPS( 무정전 전원장치 ) 4-4
2.1 UPS 배터리의 교환 (3 년 ) 4-4
3. 노즐 스테이션 4-5
3.1 노즐 스테이션 센서의 상태확인과 청소 (1 년 ) 4-5
제 5 장 급유개소 일람
1. 급유준비 5-1
1.1 적용 구리스 5-1
1.2 구리스건 5-1
2. 급유개소와 주기 5-2
2.1 X 축 5-2
2.2 Y 축 5-3
2.3 W 축 (U) 축 5-4
2.3.1 듀얼 스테이지 사양 5-4
2.3.2 듀얼레인 사양 5-5
2.3.3 싱글레인 사양 5-6
2.4 PU 축 5-7
2.4.1 듀얼 스테이지 사양 5-7
2.4.2 듀얼레인 사양 5-7
2.4.1 싱글레인 사양 5-8
2.5 Z 축 ( 스플라인 샤프트 ) 5-9
제 6 장 소모품의 교환
1. 노즐 6-1
1.1 노즐 선단부와 스프링의 교환 6-1
1.2 노즐 O 링의 교환 6-2
2. 노즐 판스프링의 교환 6-3
3. 이젝터부 6-5
3.1 이젝터 BIT 의 교환 6-5
3.2 솔레노이드 밸브의 교환 6-6
3.3 청소용 블로우 밸브의 교환 6-7
4. 컨베이어 6-8
4.1 컨베이어 벨트의 교환 6-8
