YS24X_Mainte_K.pdf - 第76页

3-10 3 1 . 6 Y 축 리니 어 스 케일 부의 청소 Y 축 리 니 어 스 케 일 부 ( 스케 일 테 이 프 ) 가 더 러 워 져 있 으 면 , 리 니 어 스 케 일 의 읽 기 불 량이 발 생 할 경 우 가 있 습 니 다 . 이 를 방 지 하 기 위 해 서 정 기 적 으로 청 소 할 필 요가 있 습 니 다 . ■ 준 비물 • 종이 와 이 퍼 ( 보 풀이 나 지 않는것 ) • 이 소프로필…

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3-9
3
1.5 클램프상태작확인
1.5.1 클램프상태 확인
품종, 산품 , 1 으로 다음같이
.
1. 기판클램했을 때에 , 기판에 반동현상이 없을 것 .
2. 기판클램프 했을 , 판누름 플레이판과
사이에 틈새 .
3. 기판클램프 했을 , 이어 레일 상면과 기판
단차발생않을 .
4. 기판 클램유니트가 활하게 작동 .
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n
요점
의 1~3 이 NG 일 경우에 , 기판누름 플
푸쉬업 핀의 수과 위가 적지 확인해 주십 .
판누름 플레의 고가 느할 경우에 , 단단히 고
해 주십 .
4 가 NG 일 경 , 다음의 기판 클프의 동작 확
해 주십 .
1.5.2 기클램프확인
e
1
준비를 합니다 .
1. 비상정튼을 르고 , 장비의 안전커버
오픈합니다 .
2. 사양의 경우는 , 대차를 탈착합니 .
2
클램드를 시킵니다 .
1. 컨베어상에 기판이 에서 ,
[ 장치 ]-이어화면의 [ 기판 클램 ]
버튼을 릅니다 .
2. 클램보드가 원활하우침없상승되
육안으로 확인해 주 .
3
클램드를 강시킵니다 .
1. [ 기판 클램 ] 튼을 눌러서 , 클램프
드를 강시킵니다 .
2. 클램보드가 원활하우침없하강
육안으로 확인해 주 .
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4
클램복합니다 .
상기 Step2~3 클램
/
언클램프를
해서 안정하동작되확인합니 .
n
요점
판 플프 동작이 원지 않을 경우에 , 판매 대
는 야로 연락해 주십 .
클램프 상태의 확인
기판누름 플레이트와의 틈새가 없을 것.
클램프시, 단차가 없는 것을 확인한다.
클램프와 언클램프를
실행해서, 확인한다.
클램프 동작의 확인
Step 2-4
[기판 클램프] 버튼
원활하게 상하로 동작
좌우의 치우침이 없을 것
기판 클램프 보드
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3
1.6 Y 리니케일부의 청소
Y ( 스케 ) , 량이
. 으로 요가 .
비물
종이 ( 풀이 않는것 )
소프로필 알코또는 무수 (AEA)
1
헤드 유닛을 뒤쪽으이동시킵니다 .
1. 시계 , 자기 ID 카드 , 력에 영향을
받는 물건전부 둡니 .
2. 상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버
오픈합니다 .
3. 사양의 경우에 , 대차를 탈착합니다 .
4. 유닛뒤쪽으로 .
2
케일 테이프를 청소합니다 .
소프로필 알코 ( 또는 무수 ) 적신
종이 와이퍼스케일 테이방향으로
닦아 .
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n
요점
가 있는 더의 경우는 , 종이 와의 닦는 면
갈아 바꿔서 약 200mm 간으로 닦아 주십 .
3
헝겊으닦습니다 .
Step2 에서 부분이 완전히 마르기 전에 마른
헝겊닦아 주십시 .
4
뒤쪽도 식으소합니다 .
장비의 뒤쪽안전 커버 , 헤드 유닛
으로 동시켜서 , 남은 부품을
주십시 .
스케일 테이프의 청소
Step 2
스케일 테이프 종이 와이퍼
일정 방향으로 닦기
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3
1.7 카메라 호글래스청소
, .
으로 하실 .
e
1
조명 래스상의 먼지를 털어
다.
1. 비상정튼을 르고 , 장비의 안전
오픈합니다 .
2. 브러시보호 글래스상의
털어냅니다 .
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참고
워 브는 옵션 구.
2
조명 래스니다 .
와이퍼 또는 클리이퍼 등에 클리
방을 묻혀서 , 보호 스를 닦주십시 .
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n
요점
퍼 먼가 나지 않는 것을 사하여 주십 .
즈 클리와 클리닝 페는 옵션 구.
c
주의
즈 클리너 이외의 용제 (IPA, 아세 ) 는 사용하지 마십시
오.
블로워 브러시로 먼지를 털어낸다
Step 1
블로워 브러시
와이퍼로 보호 글래스를 닦는다
Step 2
먼지가 나지 않는 닦기용 와이퍼