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3-16 3 ■ B 테 이블 장비의 앞쪽 에서 작 업하는 순서 에 대 해서 설 명 합니 다 . e 1 작 업 준비를 합니다 . 1 . 손 목 시계 , 자기 I D 카드 등 , 자 력 에 영 향 을 받 는 물건 은 전 부 빼 둡니 다 . 2. 비 상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버 를 오픈합 니다 . 3. 대 차사양의 경 우는 , 대차를 탈착합니다 . 4. 사각건 을 Y 축 리 니 어 …

3-15
3
3
X 축 볼스크류부를 청소합니다 .
1. 볼스크류 전체를 먼지가 나지 않는 종이 와이
퍼 ( 크린룸용 ) 로 오래된 구리스와 더러움을
닦습니다 .
2. 헤드 유닛을 반대쪽으로 이동시켜서 , 반대쪽
의 볼스크류도 닦습니다 .
57313-L4-00
c
주의
청소 작업시에는 볼스크류의 리드홈도 정성스럽게 닦아 주십
시오 . 또한 , 이물질이 없는지 확인하여 주십시오 .
4
구리스를 주입합니다 .
구리스건에 표준 노즐을 세팅하고 , 구리스 니플
(X 축 모터와 반대쪽에 있는 ) 로부터 지정 구리스
(NSL) 를 주입하여 주십시오 .
57314-L4-00
n
요점
다음의 동작을 반복해서 , 새로운 구리스가 틈새로부터 스며
나올 정도로 주입해 주십시오 .
•구리스 주입
•손으로 축을 가볍게 움직인다
5
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
1. 이동핸들을 잡아서 헤드유닛을 한쪽으로 이동
시킵니다 .
2. 볼스크류 및 너트 단면에 남아 있는 구리스를
닦아냅니다 .
3. 헤드유닛을 반대쪽으로 이동시켜서 , 반대쪽의
볼스크류 및 너트 단면에 남아 있는 구리스도
닦아주십시오 .
57310-L4-00
6
워밍업 운전을 합니다 .
1. 깔아둔 사각건을 제거합니다 .
2. 비산방지 커버를 원상태로 장착합니다 .
3. 장비의 안전커버를 닫고 , 비상정지를 해제합
니다 . 대차 사양의 경우 , 대차를 장착합니다 .
4. 워밍업 화면을 표시해서 , 8 분정도 워밍업을
해 주십시오 .
7
구리스의 상태를 확인합니다 .
e
1. 워밍업 정지후 , 비상정지 버튼을 누르고 장비
의 안전 커버를 오픈합니다 . 대차 사양의 경우
는 , 대차를 탈착합니다 .
2. 비산방지 커버를 탈착합니다 .
3. 볼스크류 및 볼스크류의 측면에 고여 있는
구리스를 닦아냅니다 .
4. 비산방지 커버를 장착합니다 .
c
주의
최종적으로 구리스의 고임이 없어질 때까지 Step6~7 의
작업을 반복해 주십시오 . 구리스가 남아 있는 상태로 생산을
하면 구리스가 튀어서 생산에 영향을 미칠 경우가 있습니다 .
X축 볼스크류의 구리스 주입
Step 4
X축 볼스크류부의 구리스 니플
X축 볼스크류의 청소
Step 3
종이 와이퍼
구리스 닦아내기
Step 5
고여있는 구리스를 닦아낸다

3-16
3
■ B 테이블
장비의 앞쪽에서 작업하는 순서에 대해서 설명합니다 .
e
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받
는 물건은 전부 빼 둡니다 .
2. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전커버를
오픈합니다 .
3. 대차사양의 경우는 , 대차를 탈착합니다 .
4. 사각건을 Y 축 리니어부와 푸쉬업 플레이트
위에 깔아 둡니다 .
2
구리스 비산방지 커버를 분리합니다 .
1. B 테이블의 헤드유닛을 장비정면 앞쪽 끝까지
이동시켜 주십시오 .
2. 헤드유닛을 우측 끝까지 이동시키고 , 십자 드
라이버로 구리스 비산방지 커버 좌측의 고정
나사 (2 군데 ) 를 2 바퀴정도 풉니다 .
3. 헤드를 좌측 끝까지 이동시키고 , 십자 드라이
버로 구리스 비산방지 커버 우측의 고정 나사
(2 군데 ) 를 분리합니다 .
4. 구리스 비산방지 커버를 우측으로 당겨서 떼어
냅니다 .
57315-L4-00
참고
비산방지 커버에 접근하기 힘들 경우에는 , 발판 등을 준비해
서 작업해 주십시오 .
참고
구리스 비산방지 커버를 장착할 때는 , 상기의 반대순으로
작업해 주십시오 .
3
볼스크류부를 청소합니다 .
1. 볼스크류 전체를 먼지가 나지 않는 종이 와이
퍼 ( 크린룸용 ) 로 오래된 구리스와 더러움을
닦습니다 .
2. 헤드유닛을 반대쪽으로 이동시켜서 , 반대쪽의
볼스크류도 닦습니다 .
57316-L4-00
n
요점
청소 작업시에는 볼스크류의 리드홈도 정성스럽게 닦아 주
십시오 . 또한 , 이물질이 없는지 확인하여 주십시오 .
4
구리스를 주입합니다 .
구리스건에 표준 노즐을 세팅하고 , 구리스 니플
(X 축 모터와 반대쪽에 있는 ) 로부터 지정 구리스
(NSL) 를 주입하여 주십시오 .
57317-L4-00
n
요점
다음의 동작을 반복해서 , 새로운 구리스가 틈새로부터 스며
나올 정도로 주입해 주십시오 .
•구리스 주입
•손으로 축을 가볍게 움직인다
X축 구리스 비산방지 커버의 분리
십자 드라이버
사각건
비산방지 커버
Step 2
X축 볼 스크류의 청소
Step 3
종이 와이퍼
X축 볼 스크류의 구리스 주입
Step 4
X축 볼 스크류부의 구리스 니플

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3
5
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
1. 이동핸들을 잡아서 헤드유닛을 한쪽으로 이동
시킵니다 .
2. 볼스크류 및 너트 단면에 남아 있는 구리스를
닦아냅니다 .
3. 헤드유닛을 반대쪽으로 이동시켜서 , 반대쪽의
볼스크류 및 너트 단면에 남아 있는 구리스도
닦아주십시오 .
57310-L4-00
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워밍업 운전을 합니다 .
1. 깔아둔 사각건을 제거합니다 .
2. 비산방지 커버를 원상태로 장착합니다 .
3. 장비의 안전커버를 닫고 , 비상정지를 해제합
니다 . 대차 사양의 경우 , 대차를 장착합니다 .
4. 워밍업 화면을 표시해서 , 8 분정도 워밍업을
해 주십시오 .
7
구리스의 상태를 확인합니다 .
e
1. 워밍업 정지후 , 비상정지 버튼을 누르고 장비
의 안전 커버를 오픈합니다 . 대차 사양의 경우
는 , 대차를 탈착합니다 .
2. 비산방지 커버를 탈착합니다 .
3. 볼스크류 및 볼스크류의 측면에 고여 있는
구리스를 닦아냅니다 .
4. 비산방지 커버를 장착합니다 .
c
주의
최종적으로 구리스의 고임이 없어질 때까지 Step6~7 의
작업을 반복해 주십시오 . 구리스가 남아 있는 상태로 생산을
하면 구리스가 튀어서 생산에 영향을 미칠 경우가 있습니다 .
구리스 닦아내기
Step 5
고여있는 구리스를 닦아낸다