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KML4177300 총 목차 머리말 1 . 각 장의 내 용 i 2. 유지보수 항 목일 람 i i 제 1 장 유지보수에 대하 여 1 . 장비의 성능을 유지하 기 위 해 서는 1 - 1 1 . 1 필수조건 및 환경 조건 1 - 1 1 .2 정기적인 점검과 청 소 의 중요성 1 - 2 2. 유지보수 작업의 준비 1 - 3 2. 1 소 모품과 교환 부 품 ( 고장시 ) 1 - 3 2 .1.1 소 모…
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■ 라벨부착 위치
경고표시 라벨
sATSII
■ 도어 개구부
■ 도어개구부, 내부
■ 베이스부
97205-R6-20
KML4177300
총목차
머리말
1. 각 장의 내용 i
2. 유지보수 항목일람 ii
제 1 장 유지보수에 대하여
1. 장비의 성능을 유지하기 위해서는 1-1
1.1 필수조건 및 환경조건 1-1
1.2 정기적인 점검과 청소의 중요성 1-2
2. 유지보수 작업의 준비 1-3
2.1 소모품과 교환부품 ( 고장시 ) 1-3
2.1.1 소모품 1-3
2.1.2 노즐 1-6
2.1.2 교환부품 ( 고장시 ) 1-8
2.2 유지보수 공구 1-9
2.2.1 클리닝 툴 1-9
2.2.2 급유 툴
•
구리스 1-11
2.2.3 스페셜 툴 1-13
2.4 필요공구 1-14
제 2 장 일상적인 유지보수 항목
작업하기 전에 2-1
키보드의 수납 2-1
1. 노즐상태의 확인 2-2
1.1 소프트웨어로 확인하기 2-2
1.1.1 노즐 해방시의 진공레벨 2-4
1.2 육안으로 확인하기 2-5
2. 피더 플레이트의 청소 2-6
제 3 장 정기적인 유지보수 항목
1. 매주 3-1
1.1 노즐의 점검 3-1
1.1.1 노즐 탄성력의 확인 3-1
1.1.2 노즐 판스프링의 상태확인 3-2
1.2 노즐의 청소 3-3
1.2.1 노즐 스프링의 청소와 급유 3-3
1.2.2 노즐 선단부의 청소 3-4
1.3 그리퍼 노즐 ( 옵션 ) 의 청소와 급유 3-6
1.3.1 그리퍼 노즐의 점검 3-6
1.3.2 그리퍼 노즐의 청소와 급유 3-6
1.4 컨베이어 센서의 상태와 동작확인 3-8
1.5 기판 클램프의 상태와 동작확인 3-9
1.5.1 기판 클램프의 상태 확인 3-9
1.5.2 기판 클램프의 동작 확인 3-9
1.6 Y 축 리니어 스케일부의 청소 3-10
1.7 멀티 카메라 보호글래스의 청소 3-11
2. 매월 3-12
2.1 노즐 에어경로의 청소 3-12
2.2 각 축의 점검 3-13
3. 2 개월 3-14
3.1 X 축 , Y 축의 청소와 급유 3-14
3.1.1 X 축 볼스크류의 청소
•
급유 3-14
3.1.2 X 축 가이드의 청소와 급유 3-18
3.1.3 Y 축 가이드의 청소와 급유 3-19
3.2 PU 축의 청소와 급유 3-20
3.3 컨베이어 벨트의 점검과 청소 3-22
4. 3 개월 3-28
4.1 이젝터 필터의 청소와 교환 3-28
4.2 이젝터 진공압력의 점검 3-29
4.3
각 헤드의 블로우 밸브와 청소용 블로우 밸브의 동작확인 3-30
4.4 스플라인 샤프트 3-32
4.4.1 스플라인 샤프트 내부의 세정 3-32
4.4.2 부압 상태의 확인 3-35
4.4.3 스플라인 샤프트의 Z 축 동작확인 3-36
4.4.4 스플라인 샤프트 주변의 확인과 청소 3-36
4.4.5 스플라인 샤프트의 급유 ( 필요시에만 ) 3-37
4.5 에어 / 미스트 필터의 점검과 교환 3-38
4.6 U 축 (W2 축 ) 의 청소와 급유 ( 듀얼 스테이지 ) 3-40
5. 6 개월 3-42
5.1 피듀셜 카메라의 청소 3-42
5.2 W 축의 청소와 급유 3-43
6. 1 년 3-45
6.1 R 축 스플라인 벨트의 상태확인 (1 년 ) 3-45
제 4 장 옵션부의 유지보수
1. 이오나이저 4-1
1.1 이오나이저 방전침의 청소 ( 매월 ) 4-2
1.2 이오나이저 방전침의 교환 (2 년 ) 4-3