DECAN_S2_Admin(Chi_Ver4.5).pdf - 第429页
14-71 Machine Calibration 下一个阶段。 选择 <15. R-Axis Off s et> 按钮则显示 ” 首先， 我 们必须把所有吸嘴手动离开朝 向。 将 Z 轴调制低处， 点 击 [ 下一步 ]” 消息。 为了手动除去所有贴装在磁头的吸 嘴， 拉下磁头的 Z 轴， 请点击 < 下个 > 按钮。 3. 那么 , Head Assembly 移动到 设备原点位置后， 拉下所有 Z 轴。 此…
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Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide
备 注 Fly to Fix Offset 的校正基准值如下。
Offset X : -0.050 ~ 0.050(mm)
Offset Y : -0.050 ~ 0.050(mm)
Fly Runout Offset 的校正基准值如下。
Offset X : -0.020 ~ 0.020(mm)
Offset Y : -0.020 ~ 0.020(mm)
14.3.10.8. R-Axis Offset Calibration
R轴的识别角度和贴装角度不相同时，因为通过Vision不能完全补正R轴的误差，因
此下降贴装精度。
因此R轴的Motion用数据的方式补正近似值，为了最小化此误差执行R-Axis Offset
校正。
校正作业之前首先要确认校正 Tool是否在ANC的校正 Tool处。
下面是 R-Axis Offset 的校正步骤。
1. 点击<准备吸嘴>按钮，在ANC1号孔中插入CN400吸嘴。
2. 选择<自动下一步> 校验框后，点击<15. R-Axis Offset> 按钮，则对选择的
Gantry自动执行校正。
选择<没有实际运动（手动）> 校验框后，执行校正会在各Head手动插入吸嘴，
并点击<下个>进入下一个阶段。
不选<自动下一步> 或<没有实际运动（手动）>中的任何校验框的状态下执行
校正时，虽然对当前被选的Head自动更换吸嘴，但要点击<下个>按钮才能执行
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Machine Calibration
下一个阶段。
选择<15. R-Axis Offset>按钮则显示”首先，我们必须把所有吸嘴手动离开朝
向。将Z轴调制低处，点击[下一步]” 消息。为了手动除去所有贴装在磁头的吸
嘴，拉下磁头的Z轴，请点击 <下个> 按钮。
3. 那么, Head Assembly移动到设备原点位置后，拉下所有Z轴。此时，请手动除去
所有已贴装的吸嘴。
4. 显示”下一步，将标准工具粘贴在头部1。点击[下一步]向下移动。移动后，手动
粘贴工具到首部。” 消息。在磁头1号的吸嘴支架上手动安装 CN400吸嘴后，请
点击, <下个>按钮。
5. 显示“将Z轴移至低处…请等一会”消息。显示是否跳跃对 Head1的校正进行的
对话框。要跳跃请点击 “ 是(Y)”, 要进行Calibration请点击 “否(N)”, 然后点击<
下个>按钮。
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6. 显示”移动到中心位置校正工具。移动，点击[下一步]。”。
7. 显示”准备标准。对于标准，点击[下一步]” 消息。此时，点击 <亮度>按钮，在”
亮度控制”对话框中’SMVision’窗口显示的Calibration Tool上的Fiducial Mark明
显为止调整照明亮度后点击<下个>按钮。
8. Head从-360到360以5度为单位进行旋转的同时用飞行相机识别校正 Tool底面
的Fiducial Mark 2点。
9. 自动执行 Calibration后，完成校正则如下图显示结果值。