DECAN_S2_Admin(Chi_Ver4.5).pdf - 第431页
14-73 Machine Calibration 10. 按 照 Head 2 的校正方法 ， 对 H ead 2~ 6 执行校正。 11 . 正常结束对所有磁头的校正， 则显示如下结果值。 如下图显示结果值。 12. 完 成 对 Gantry1 的校正后在 <Gantry> 组合框中选择 ’Ga n t ry2’ 以相 同的方法执行 校正。 结果值可在 R Axis 对话框 中确认。
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Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide
6. 显示”移动到中心位置校正工具。移动，点击[下一步]。”。
7. 显示”准备标准。对于标准，点击[下一步]” 消息。此时，点击 <亮度>按钮，在”
亮度控制”对话框中’SMVision’窗口显示的Calibration Tool上的Fiducial Mark明
显为止调整照明亮度后点击<下个>按钮。
8. Head从-360到360以5度为单位进行旋转的同时用飞行相机识别校正 Tool底面
的Fiducial Mark 2点。
9. 自动执行 Calibration后，完成校正则如下图显示结果值。
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Machine Calibration
10. 按照Head 2的校正方法，对Head 2~ 6执行校正。
11. 正常结束对所有磁头的校正，则显示如下结果值。如下图显示结果值。
12. 完成对 Gantry1的校正后在<Gantry> 组合框中选择’Gantry2’以相同的方法执行
校正。结果值可在R Axis对话框中确认。
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备 注 R-轴偏移的校正基准值如下。
Real Max(Min): 命令值与测定值之间的最大（最小）误差
Head1~Head10 : -1.0 ~ 1.0(deg)
Err Max(Min) : 测定值与补偿值之间的最大（最小）误差
Head1~Head10 : -0.3 ~ 0.3(deg)
14.3.10.9. Beam Offset Calibration
该校准作业测量基准相机(Fiducial Camera)中心与悬臂的Beam Sensor之间的距离。
需要测量Beam Offset时，先在系统菜单的<Head>选项卡选择需要使用的Beam
Sensor。
下面是Beam Offset的校准过程。
1. 单击<16. Beam Offset>键，实行Beam Offset对话框。