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3-5 3 1 .2.2 기판 클램프 의 상태확 인 기 판의 클램프 상태 에 관하 여 하 기 의 항 목 을 확인하 여 주 십시 오 . 1 . 기 판 클램 프했 을때 에 ,기판 에반동현상이없 을것 . 2. 기 판 클램 프했 을때 에 ,기 판누름플레 이 트와기판 과 의사이에틈 새가없 을것 . 3. 기 판 클램 프했 을때 에 ,컨 베 이 어레 일상 면 과…