YC8_Mainte_K.pdf - 第63页

3-13 3 2 .3 컨베 이어 부 2.3 . 1 컨베이어 벨트 의 점 검과 청소 컨 베 이 어 벨트의 마 모상태 를 점검 합니 다 . 벨트 반 송면 의 마 모 가 진행 되 면 , 미끄 러짐 이 발생 하 여 기 판 이 안 정 적으 로 반송되지 않습니다 . 따 라서 정기 적 으 로 마모 상태 를 확 인 할 필 요 가 있습 니다 . 또 한 , 벨트의 마 모 에 의 해 컨 베 이 어 센서 수광 면…

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3
3
구리스를 주입합니다 .
1. X
구리을사용해 ,X 축가드용구스
부터지정구 (NSL) 를주합니다 .
구리스니플은 ,헤드부뒷의좌우에2 개씩
( 상하가드의위치 )있습니 .
( 합계4 군데 )
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2. Y
구리을사 ,Y 축가용구리스
부터지정구 (NSL) 를주합니다 .
구리스니플은 ,각Y 축가
슬라이더전
후에있습니 .( 합계4 군데 )
즐의장착 ,구리스플방향에맞춥니 .
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c
주의
Y 축의전후벤트형구스니플 ,노즐방에맞추어구리
스건노즐을똑바로삽입해주십 .각도가어긋나면니
이파손되나미끄러져서빠져릴수가있습니 .신중하
게삽입해주십 .
3. W
손에지정구리를묻혀서가이드의표면및
홈에균일하게도포해주십 .
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4
여분의 구리스를 닦아니다 .
으로축을수례이킨후 ,여의구리
냅니다 .
X축 가이드의 구리스업
Step 3-1
구리스 니플(우)
구리스 니플(좌)
Y축 가이드의 구리스업
Step 3-2
구리스 니플(전)
구리스 니플(후)
W축 가이드의 그리스 도포
Step 3-3
화살표 방향으로 벨트를
돌리면 컨베이어 축이
좁아진다
3-13
3
2.3 컨베이어
2.3.1 컨베이어 벨트의 점검과 청소
어 벨트의 마모상태를 점검합니 . 벨트 반송면의 마가 진행 , 미끄러짐이 발생여 기이 안
적으로 반송되지 않습니다 . 따라서 정기로 마모상태를 확할 필가 있습니다 .
, 벨트의 마에 의해 컨어 센서 수광과 벨트 가에 마가 쌓여서 오검출 등의 트러
나 벨트가 고착되는 문제가 발생할 가능성이 있습니 .
준비물
자드라이버
육각 (4mm,5mm)
버큠 ASSY( 구입품 )
1
컨베이어 폭을 작업하기 쉬운 폭으
변경합 .
1. [ 컨베 ] 버튼을눌러서 ,컨베폭변
경대창을표시시 .
2.변경의컨베이어」란에공구 ( 자드라
이버)가들어갈정도의수치를입고[OK]
튼을눌러주십시오 .
컨베이어가지정된폭으로변경 .
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e
2
송벨의 텐션을 느슨하게 합니다 .
비상정지버을누른후,육각치4mm 와5mm
를사용해서 ,벨트텐션을느게해주십시 .
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3
컨베이어 벨트를 분리합니다 .
풀리와기판가의벨트틈새부터컨
어벨를빼주십시 .
4
컨베이어 벨트 반송면의 마모를 확인합
니다 .
Step3 에서분리한컨어벨트반송면의마
상태를확인해주십시 .
5
기판 가이드부의 벨트홈과 풀리를 청
합니다 .
트홈및센서검출면의마모가루는버 ASSY
로흡입해주십 .
컨베이어의반송벨트용풀리등도청소해주십
오.
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c
주의
가끔벨트의마모가루가풀리표에검게붙어있는경가
습니 .이럴때 ,금속훼라로긁어내주십시 .
컨베이어 폭의 변경
Step 1
Step 2
벨트텐션을 느슨하게 한다
텐션 볼트
텐션 풀리
벨트 홈의 청소
Step 5
벨트 홈
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3
2.3.2 6 각 스플라인의 청소
급유
준비물
종이와이퍼 ( 지가나지않는것 )
지정구 :NSL
c
주의
구리스를사용할경우는 ,반드시보호안경과보호장갑을착용해주십시 .
e
1
6 각 스플라인부를 청소합니다 .
1. 수동조작으로기판폭을최대로설한후 ,비
상정지상로합니 .
2. 6 각스플라인전체를먼가나지않는종이
와이퍼 ( 크린룸용 )등으로오래된구스나
더러움거합니다 .
3. 상정지를해제 ,기판폭을좁혀서남은
다른부분의오래된구리나더도제거
니다 .
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2
구리스를 도포합니다 .
손에지정구리 (NSL) 를묻혀서6 각스플라인
의표면에균하게도포해주십 .
n
요점
Step1 과 같은 식으로 기을 조정해서 6 각 스플라
체를 균일하게 도포해 주십시오 .
6각 스플라인의 청소
Step 1
종이 와이퍼
6각 스플라인