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3-10 3 4 구리스 를 주입 ( 도 포 ) 합 니다 . 1 . X 축 , Y 축  구리 스건 을준비 해서 ,구리스니 플 로부터지 정구리 스(NSL) 를주입 하여주십시 오 .축을 손 으로움직 인후 ,여분 의구리 스 를닦아주 십 시오 . 2. W 축  손에지정구리 스 (NSL) 를묻혀서볼 스크 류의 표 면및리 드 홈에균일 하게발라주십 시 오…

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3
3
볼스크류부를합니 .
1. 동핸들을잡아서각축을한쪽으로이
니다 .
2. 볼스크류전를먼가나지않는종이와이
( 크린룸용 ) 로오래된구리스와더러을
습니다 .
3. 축을반대쪽으로이켜서 ,반의볼스
도닦습니 .(X ,Y ,W )
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c
주의
소작업시는볼스크류의리드홈도깨하게닦아주십시
.또한 ,이물질이없지확인여주십시 .
볼스크류의 청소
Step 3
X축
Y축
W축
W축 볼스크류
Y축 볼스크류
X축 볼스크류
종이 와이퍼
종이 와이퍼
종이 와이퍼
3-10
3
4
구리스를 주입 ( ) 니다 .
1. X , Y
구리스건을준비해서 ,구리스니로부터지
정구리스(NSL) 를주입하여주십시 .축을
으로움직인후 ,여분의구리를닦아주
시오 .
2. W
손에지정구리 (NSL) 를묻혀서볼스크류의
면및리홈에균일하게발라주십 .
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5
커버를 원상태로 부합니다 .
구리스비산방지커를분리을때와역으로
부착시켜주십시 .
볼스크류의 구리스업
Step 4
X축 볼스크류부
구리스 니플
Y축 볼스크류부
구리스 니플
X축
W축
W축 볼스크류
Y축
3-11
3
2.2.2 가이드의 청소
급유
준비물
자드라이버
종이와이퍼 ( 지가나지않는것 )
구리스건
지정구 :NSL
각건
c
주의
구리스를사용할경우는 ,반드시보호안경과보호장갑을착용해주십시 .
e
1
업 준비를 합니다 .
1.「EMERGENCYSTOP」버튼을눌러서장비
를비상정지상태로합니다 .
2. 사각건을컨이어위에깔아둡니 .
2
이드를 청소합니다 .
1. 각축을한쪽으로이고나서 ,가이드전
를먼지가나지않는종이와이퍼 ( 린룸
) 로닦습니 .
2. 그다음 ,축을반대쪽로이시켜 ,반대쪽
의가이드도닦습니 .
(X ,Y ,W )
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c
주의
가이드레의이동홈도깨하게닦아주십시 .
가이드의 청소
Step 2
가이드
가이드(좌우)
가이드
종이 와이퍼
종이 와이퍼
종이 와이퍼
X축
Y축
W축