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4OM-1604 1002-001 2-A 第二章故障处理本章节说明各故障处理的概要。 1. 故障处理的说明 2 . 警告 ( 启动向导 ) 3. 装置情报 4. 关于异常显示界面

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第一章 5. 消耗元件和重要保修品

模块名品名元件编号元件名使用数建议年数

Note(a)

立体分解图备注

主机部触摸台 ( 两侧 ) 4U210135 EQUIPMENT 1 3 Fig.FA-1

真空泵 24A00420 VACUUM,PUMP 1 - Fig.B-3

搬送部搬送传动轮 223Q0663 PULLEY,TIMING 24 5 -

搬送传动轮 223Q0755 PULLEY,TIMING 4 5 -

搬送传动轮 223M0059 PULLEY,TIMING 20 5 -

搬送带 223L0383 BELT,TIMING 4 3 -

搬送带 223L0384 BELT,TIMING 8 3 -

切割器部切割模块 ASSY 0920712V GUIDE 1 2 -

T4A17

Note

(a) 建议年数为参考值。

(b) 请不要再利用维护保养时拆卸的螺栓。

(c)

*1 为带扩散板 ( 扇 ) 时、*2 为不带扩散板 ( 扇 ) 时。

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第二章

故障处理

本章节说明各故障处理的概要。

1. 故障处理的说明

2. 警告 ( 启动向导 )

3. 装置情报

4. 关于异常显示界面

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