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4OM-1604 3-98 第三章 3. 异常 ID 号和复位方法 3.10 其他 异常 ID 异常名、说明、要因以及复位方法 4b0201 送料器通信异常 与送料器的通信发生异常。 请确认元件剩余数量 4b0204 送料器通信异常 在规定的时间内与送料器的通信不能结束。 ( 请将送料器拔出后再安装一次 ) ----- 4b0205 送料器通信异常 基本情报读出处理失败。 请使推车暂且下降,或将送料器拔出后再安装一次。 ----- 4b…

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第三章 3. 异常 ID 号和复位方法
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3.9 安装头
异常 ID 异常名、说明、要因以及复位方法
4a0101 马达定位异常
马达定位异常
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4a0102 马达定位异常
相对轴定位超时
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4a0201 马达定位超时
马达定位超时
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4a0301 马达启动条件异常
马达启动条件异常
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4a0401 马达运转模式设定异常
马达运转模式设定异常
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4a0501 马达运转模式设定超时
马达运转模式设定超时
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4a0601 马达启动指令异常
马达启动指令异常
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4a0701 马达启动指令超时
马达启动指令超时
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4a2101 Valve 切换异常。
Valve 切换异常。
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4a2201 真空切换异常。
真空切换异常。
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T4C9

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第三章 3. 异常 ID 号和复位方法
3.10 其他
异常 ID 异常名、说明、要因以及复位方法
4b0201 送料器通信异常
与送料器的通信发生异常。
请确认元件剩余数量
4b0204 送料器通信异常
在规定的时间内与送料器的通信不能结束。
( 请将送料器拔出后再安装一次 )
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4b0205 送料器通信异常
基本情报读出处理失败。
请使推车暂且下降,或将送料器拔出后再安装一次。
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4b0206 送料器通信异常
机种切换处理失败。
请使推车暂且下降,或将送料器拔出后再安装一次。
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4b0207 送料器通信异常
元件补给监视设定处理失败。
请使推车暂且下降,或将送料器拔出后再安装一次。
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4b0208 送料器通信异常
由于串行通信处理中异常发生,不能进行输送动作。
请使推车暂且下降,或将送料器拔出后再安装一次。
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4b0302 送料器安装台
送料器夹住和松开动作在规定的时间内不能结束。
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4b0304 送料器安装台
送料器夹住和松开动作在规定的时间内不能结束。
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4b0305 送料器安装台
送料器安装台的上升动作没用在规定时间内完成。
请确认送料器安装台的位置转换上限
4b0306 送料器安装台
送料器安装台的下降动作没用在规定时间内完成。
请确认送料器安装台的位置转换下限
4b0307 送料器安装台
送料器安装台的连接 ( 后 ) 已经断开。
送料器安装台上升时请不要断开连接。[B0916]
请将送料器安装台的连接 ( 后 ) 接续到装置的主机。
4b0308 送料器安装台
送料器安装台的连接 ( 前 ) 已经断开。
送料器安装台上升时请不要断开连接。[B0916]
请将送料器安装台的连接 ( 前 ) 接续到装置的主机。
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第三章 3. 异常 ID 号和复位方法
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异常 ID 异常名、说明、要因以及复位方法
4b0310 送料器安装台
电源未接通,或发生了非常停止检出
确认非常停止按键没有被按下后,请投入电源。
4b0311 送料器安装台
没有检出送料器推车
将送料器推车设置在指定位置后,请再次进行操作。如果已经设置在指定位置,请
确认推车是否已经在里部与装置完全连接。
4b0312 送料器安装台
送料器推车插座没有连接
连接好送料器推车的插座后,请再次进行操作。
4b0313 送料器安装台
NL 轴自动锁定检出
NL 轴位置低下的场合,请进行原点归复。
4b0314 送料器安装台
送料器安装台动作异常
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4b0315 送料器安装台
升降机单元的 clamp 动作超时。
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4b0316 送料器安装台
升降机单元的 Unclamp 动作超时。
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4b0317 送料器安装台
送料器安装台 ( 后 ) 的现在位置不确定
送料器安装台以及柱面上限检出 [B0614] 请确认柱面下限检出 [B0615] 传感器
4b0318 送料器安装台
送料器安装台 ( 前 ) 的现在位置不确定
送料器安装台以及柱面上限检出 [B0614] 请确认柱面下限检出 [B0615] 传感器
4b0319 送料器安装台
位置决定落下防止挡板 ( 里 ) 的锁定不能解除
请确认送料器安装台的状态以及位置决定落下防止锁定检出传感器 [B0912][B0913]
4b031A 送料器安装台
位置决定落下防止挡板 ( 前 ) 的锁定不能解除
请确认送料器安装台的状态以及位置决定落下防止锁定检出传感器 [B0912][B0913]
4b031B 送料器安装台
位置决定落下防止挡板 ( 里 ) 不能锁定
请确认送料器安装台的状态以及位置决定落下防止锁定检出传感器 [B0912][B0913]
4b031C 送料器安装台
位置决定落下防止挡板 ( 前 ) 不能锁定
请确认送料器安装台的状态以及位置决定落下防止锁定检出传感器 [B0912][B0913]