NPM-W中文说明书.pdf - 第120页
NPM-W 2014.0303 - 1 14 - ■ 单 式托盘供料器 ( 单位 : mm) ■ 双式托盘供料器 ( 单位 : mm) 896 ※ 1 052 985 68 873 828 480 ※ 托盘供料器高度 896 mm ，是 NPM-W 的基板搬送高度是 900 mm 时的标准值 。 可调整范围是 : 896 mm +65 -16.5 基板中心 (750 × 550 mm 基板 ) 872 828 542.5 838 ※ 1…
NPM-W 2014.0303
- 113 -
(
单位
: mm)
■ 调整螺栓的配置图
单轨传送带规格
双轨传送带规格
75 75 1 113
Air
475
246 454.5 1 165.5 246
1 001 636
1 411.5
2 112
700.5
993 120 150
1 263
电源
基板传送基准
前 侧
75 75 1 113
Air
475
246 444 605 246
1 001 636
851
2 112
690
993 120 150
1 263
电源
基板传送基准
(
前侧轨道
)
前 侧
基板传送基准
(
后侧轨道
)
571
571
NPM-W 2014.0303
- 114 -
■ 单式托盘供料器
(
单位
: mm)
■ 双式托盘供料器
(
单位
: mm)
896
※
1 052
985
68
873
828
480
※ 托盘供料器高度
896 mm
，是
NPM-W
的基板搬送高度是
900 mm
时的标准值。
可调整范围是
: 896 mm
+65
-16.5
基板中心
(750 × 550 mm
基板
)
872
828
542.5
838
※
1 052
986
945
978
353 68
542.5
基板中心
(750 × 550 mm
基板
)
※ 托盘供料器高度
838 mm
，是
NPM-W
的基板搬送高度是
900 mm
时的标准值。
可调整范围是
: 838 mm
+65
-16.5
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交换台车时，是必须的最小限空间。
设置机器时请必须确保以下的空间。
(
单位
: mm)
安装双式托盘供料器时，是必须的最小限空间。
在维护作业时有时会卸下托盘供料器，所以设置机器时请必须确保以下的空间。
・单式托盘供料器时，
是
( )
内的尺寸。
Remarks
交换台车设置范围的地面倾斜，需要台车的左右方向在
6 mm
以内，前后方向在
11 mm
以内。
地面倾斜度超过此范围时，不可搬移交换台车。
前 侧
前 侧
859
808
4 492
2 332 1 080 1 080
安全盖端面
安全盖端面
4 602 (4 267)
1 080
1 190 (855)
2 332
安全盖端面
安全盖端面