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CM602-L 维修手册 1.10 消耗零件的更换 Page 1-178 3. 取下与真空泵连结的管 ( 黑色、 2 根 ) 。 4. 卸下固定真空泵基础的螺栓 (4 支 ) 。 通知 在打开配电部位之前，一定要事先确认机器主机的电源是否处于 OFF 状态。 拆卸连接在配电部位的配线 (4 根 ) 。 请注意不要弄错配线的顺序。如果弄错顺序，将会造成真空泵电极逆旋转的原因。 5. 打开真空泵的配电部位 ( 左图框内 ) 。 6. 拆卸真…
CM602-L
维修手册
1.10
消耗零件的更换
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1.10.9
真空泵的更换
使用工具
十字螺丝刀·六角扳手
需要时间
60
分钟
真空气压降低会造成部品吸着错误的原因。为确保真空气压的稳定，有必要定期更换真空泵。
∗
在作业过程中注意别碰头。
∗ 维护作业时有必要卸下供料器工作台盖和整体交换台车。
(
“1.2.2
整体交换台车的拆卸和安装、
1.2.4
供料器工作台盖的拆卸和安装
”)
1.
将电源开关置于
OFF (O)
的同时，停止
空气的供给。
∗
请将电源开关和主空气阀上锁。
2.
卸下本机器后面
(AR
·
BR)
的盖。
∗
使用十字螺丝刀卸下固定螺丝。
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EJM4A-132E
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4Z4C-518P
盖
EJM4A-AB
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1.10
消耗零件的更换
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3.
取下与真空泵连结的管
(
黑色、
2
根
)
。
4.
卸下固定真空泵基础的螺栓
(4
支
)
。
通知
在打开配电部位之前，一定要事先确认机器主机的电源是否处于
OFF
状态。
拆卸连接在配电部位的配线
(4
根
)
。
请注意不要弄错配线的顺序。如果弄错顺序，将会造成真空泵电极逆旋转的原因。
5.
打开真空泵的配电部位
(
左图框内
)
。
6.
拆卸真空泵，更换新的真空泵。
7.
连接管。
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管
螺栓
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消耗零件的更换
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8.
参照左图连接配线
(4
条
)
。
∗
连接时，请使配线的符号
(U
、
V
、
W)
与端子
台的
(U
、
V
、
W)
相一致。
9.
用螺栓
(4
根
)
固定真空泵。
拧紧扭距
: 1.6 N•m
±
0.1 N•m
10.
把盖安装上。
11.
将电源开关置于
ON ( I )
的同时，开始空
气的供给。
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配线
端子台
地线
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