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CM602-L 维修手册 2.2 机器参数的示教步 骤 Pa ge 2-91 10. 将伺服开关置于 OFF (O) 。 11. 打开安全盖。 12. 使面补正量具紧贴在 Y 方向基准导轨上。 以前侧为基准时 : 紧贴前侧 以后侧为基准时 : 紧贴后侧 13. 关闭安全盖。 14. 将伺服开关置于 ON ( I ) 。 15. 按操作面板的 + [ 面补正示教 ] 。 ∗ 先进行前侧示教，接着 进行后侧的示 教。 下一页 O FF ( …

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CM602-L
维修手册
2.2
机器参数的示教步骤
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4.
将伺服开关置于
OFF (O)
。
5.
打开安全盖。
6.
使面补正量具滑动到
Z
夹具的下方，并将
量具推碰到止动器上。
例
)
基板流动方向
→
设定时，使
“
基
+
”
的标记位于止动器侧。
7.
关闭安全盖。
8.
将伺服开关置于
ON ( I )
。
9.
按操作面板的
+
[
量具调整
]
。
下一页
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
EJM8A-C-MMC02-A02-01
EJM4A-015P
9
基+
CM602-L
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2.2
机器参数的示教步骤
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10.
将伺服开关置于
OFF (O)
。
11.
打开安全盖。
12.
使面补正量具紧贴在
Y
方向基准导轨上。
以前侧为基准时
:
紧贴前侧
以后侧为基准时
:
紧贴后侧
13.
关闭安全盖。
14.
将伺服开关置于
ON ( I )
。
15.
按操作面板的
+
[
面补正示教
]
。
∗
先进行前侧示教，接着进行后侧的示教。
下一页
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
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15
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2.2
机器参数的示教步骤
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16.
按操作面板的
+
[
取下量具
]
。
17.
将伺服开关置于
OFF (O)
。
18.
打开安全盖。
19.
将量具拆下。
20.
关闭安全盖。
21.
将伺服开关置于
ON ( I )
。
∗
重复步骤
2. ~ 21.
的操作，请对其它工作台也要
进行同样的操作。
下一页
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
EJM8A-C-MMC02-A02-01
EJM8A-Mp-0159
16