N7201A003C.pdf - 第240页

CM602-L 维修手册 1.10 消耗零件的更换 Page 1-180 = 备忘录 = EJM8A-C-MMC01-A05-00

100%1 / 498
CM602-L
维修手册
1.10
消耗零件的更换
Page 1-179
8.
参照左图连接配线
(4
)
连接时,请使配线的符号
(U
V
W)
与端子
台的
(U
V
W)
相一致。
9.
用螺栓
(4
)
固定真空泵。
拧紧扭距
: 1.6 N•m
±
0.1 N•m
10.
把盖安装上。
11.
将电源开关置于
ON ( I )
的同时,开始空
气的供给。
EJM4A-128E
配线
端子台
地线
EJM8A-C-MMC01-A05-00
CM602-L
维修手册
1.10
消耗零件的更换
Page 1-180
=
备忘录 =
EJM8A-C-MMC01-A05-00
CM602-L
维修手册
Page 2-1
2.
2.
机器参数
机器参数
是用校准等方法修改每台机器的个体差异的值。另外,这里所说的
机器参数示
是设定各
机器参数
的调整及校准作业。
此作业,请在如下条件时进行。
移设本机时
更换装置时
地板的水平度有变化时
周围温度发生极大的变化时
EJM8A-C-MMC02-A00-00