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CM602-L 维修手册 2.2 机器参数的示教步 骤 Page 2-1 48 21. 按操作面板上的 + [ 传感器位置 示教 ] 。 • 将取得基板弯曲传感器 的照射光位置 的 XY 坐 标。 22. 按操作面板上的 + [ 取下量具 ] 。 • 移载吸头将会移至退避 位置。 23. 将伺服开关置于 OFF (O) 。 24. 打开安全盖。 25. 将基板弯曲传感器治具从基板支座上取 下。 下一页 EJM8A- C-MMC02-A …
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维修手册
2.2
机器参数的示教步骤
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18.
用手动方式将移载吸头移至基板弯曲传感
器治具的
“4 mm”
位置。
∗
请确认传感器的照射光位于
“4 mm”
位置的孔之
中央
位置。
∗
请确认画面右中央的
‘Z=’
数值在
4.000
±
0.020
的范围内。
∗
数值不在
4.000
±
0.020
的范围时，请从步骤
14.
再次进行操作。
19.
关闭安全盖。
20.
将伺服开关置于
ON ( I )
。
下一页
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EJM8A-011P
基板弯曲传感器治具
EJM8A-405E
2
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2.2
机器参数的示教步骤
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21.
按操作面板上的
+
[
传感器位置
示教
]
。
•
将取得基板弯曲传感器的照射光位置的
XY
坐
标。
22.
按操作面板上的
+
[
取下量具
]
。
•
移载吸头将会移至退避位置。
23.
将伺服开关置于
OFF (O)
。
24.
打开安全盖。
25.
将基板弯曲传感器治具从基板支座上取
下。
下一页
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2.2
机器参数的示教步骤
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26.
关闭安全盖。
27.
将伺服开关置于
ON ( I )
。
28.
按功能键的
。
29.
按操作面板上的
+
[
执行
]
。
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