N7201A003C.pdf - 第473页
CM602-L 维修手册 3.6 负荷一览表 Pa ge 3-75 (3/6) 模块名称 No. 名称 配置位置 备注 HVL101 NP1 切换空气开放 ·吹气 AF HVL102 NP2 切换空气开放 ·吹气 AF HVL103 NP3 切换空气开放 ·吹气 AF HVL104 NP4 切换空气开放 ·吹气 AF HVL105 NP5 切换空气开放 ·吹气 AF HVL106 NP6 切换空气开放 ·吹气 AF HVL107 NP7…
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
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(2/6)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
VL126
整体交换上升
AF
VL127
整体交换下降
AF
VL326
整体交换上升
AR
VL327
整体交换下降
AR
VLA26
整体交换上升
BF
VLA27
整体交换下降
BF
VLC26
整体交换上升
BR
VLC27
整体交换下降
BR
MVL10
空气下降阀
-
VL120
照相机视野切换
1
AF
VL121
照相机视野切换
2
AF
VL320
照相机视野切换
1
AR
VL321
照相机视野切换
2
AR
VLA20
照相机视野切换
1
BF
VLA21
照相机视野切换
2
BF
VLC20
照相机视野切换
1
BR
主体部
VLC21
照相机视野切换
2
BR
AFHVL10
切换吹气压
AF
ARHVL10
切换吹气压
AR
BFHVL10
切换吹气压
BF
XY
装置
BRHVL10
切换吹气压
BR
基板传送带
L
VL513
治具基板吸着
A
基板传送带
R
VL913
治具基板吸着
B
EJM8A-C-MMC03-A02-01
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
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(3/6)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
HVL101
NP1
切换空气开放·吹气
AF
HVL102
NP2
切换空气开放·吹气
AF
HVL103
NP3
切换空气开放·吹气
AF
HVL104
NP4
切换空气开放·吹气
AF
HVL105
NP5
切换空气开放·吹气
AF
HVL106
NP6
切换空气开放·吹气
AF
HVL107
NP7
切换空气开放·吹气
AF
HVL108
NP8
切换空气开放·吹气
AF
HVL109
NP9
切换空气开放·吹气
AF
HVL110
NP10
切换空气开放·吹气
AF
HVL111
NP11
切换空气开放·吹气
AF
HVL112
NP12
切换空气开放·吹气
AF
HVL101
NP1
切换空气开放·吹气
AR
HVL102
NP2
切换空气开放·吹气
AR
HVL103
NP3
切换空气开放·吹气
AR
HVL104
NP4
切换空气开放·吹气
AR
HVL105
NP5
切换空气开放·吹气
AR
HVL106
NP6
切换空气开放·吹气
AR
HVL107
NP7
切换空气开放·吹气
AR
HVL108
NP8
切换空气开放·吹气
AR
HVL109
NP9
切换空气开放·吹气
AR
HVL110
NP10
切换空气开放·吹气
AR
HVL111
NP11
切换空气开放·吹气
AR
HVL112
NP12
切换空气开放·吹气
AR
HVL101
NP1
切换空气开放·吹气
BF
HVL102
NP2
切换空气开放·吹气
BF
HVL103
NP3
切换空气开放·吹气
BF
HVL104
NP4
切换空气开放·吹气
BF
HVL105
NP5
切换空气开放·吹气
BF
HVL106
NP6
切换空气开放·吹气
BF
HVL107
NP7
切换空气开放·吹气
BF
HVL108
NP8
切换空气开放·吹气
BF
HVL109
NP9
切换空气开放·吹气
BF
HVL110
NP10
切换空气开放·吹气
BF
HVL111
NP11
切换空气开放·吹气
BF
HVL112
NP12
切换空气开放·吹气
BF
HVL101
NP1
切换空气开放·吹气
BR
HVL102
NP2
切换空气开放·吹气
BR
HVL103
NP3
切换空气开放·吹气
BR
HVL104
NP4
切换空气开放·吹气
BR
HVL105
NP5
切换空气开放·吹气
BR
HVL106
NP6
切换空气开放·吹气
BR
HVL107
NP7
切换空气开放·吹气
BR
HVL108
NP8
切换空气开放·吹气
BR
HVL109
NP9
切换空气开放·吹气
BR
HVL110
NP10
切换空气开放·吹气
BR
HVL111
NP11
切换空气开放·吹气
BR
移载吸头
(
高速吸头
12
吸嘴
)
HVL112
NP12
切换空气开放·吹气
BR
EJM8A-C-MMC03-A02-01
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-76
(4/6)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
HVL201
NP1
真空阀
AF
HVL202
NP2
真空阀
AF
HVL203
NP3
真空阀
AF
HVL204
NP4
真空阀
AF
HVL205
NP5
真空阀
AF
HVL206
NP6
真空阀
AF
HVL207
NP7
真空阀
AF
HVL208
NP8
真空阀
AF
HVL209
NP9
真空阀
AF
HVL210
NP10
真空阀
AF
HVL211
NP11
真空阀
AF
HVL212
NP12
真空阀
AF
HVL201
NP1
真空阀
AR
HVL202
NP2
真空阀
AR
HVL203
NP3
真空阀
AR
HVL204
NP4
真空阀
AR
HVL205
NP5
真空阀
AR
HVL206
NP6
真空阀
AR
HVL207
NP7
真空阀
AR
HVL208
NP8
真空阀
AR
HVL209
NP9
真空阀
AR
HVL210
NP10
真空阀
AR
HVL211
NP11
真空阀
AR
HVL212
NP12
真空阀
AR
HVL201
NP1
真空阀
BF
HVL202
NP2
真空阀
BF
HVL203
NP3
真空阀
BF
HVL204
NP4
真空阀
BF
HVL205
NP5
真空阀
BF
HVL206
NP6
真空阀
BF
HVL207
NP7
真空阀
BF
HVL208
NP8
真空阀
BF
HVL209
NP9
真空阀
BF
HVL210
NP10
真空阀
BF
HVL211
NP11
真空阀
BF
HVL212
NP12
真空阀
BF
HVL201
NP1
真空阀
BR
HVL202
NP2
真空阀
BR
HVL203
NP3
真空阀
BR
HVL204
NP4
真空阀
BR
HVL205
NP5
真空阀
BR
HVL206
NP6
真空阀
BR
HVL207
NP7
真空阀
BR
HVL208
NP8
真空阀
BR
HVL209
NP9
真空阀
BR
HVL210
NP10
真空阀
BR
HVL211
NP11
真空阀
BR
移载吸头
(
高速吸头
12
吸嘴
)
HVL212
NP12
真空阀
BR
EJM8A-C-MMC03-A02-01