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CM602-L 维修手册 3.6 负荷一览表 Pa ge 3-81 (2/4) 模块名称 No. 名称 配置位置 备注 PH542 支撑下限 2 A PH543 支撑下限 1 A PH544 支撑上限 2 A PH545 支撑上限 1 A PH942 支撑下限 2 B PH943 支撑下限 1 B PH944 支撑上限 2 B PH945 支撑上限 1 B PH540 支撑金属板检测 2 A PH541 支撑金属板检测 1 A PH94…

100%1 / 498
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-80
3.6.3
光电传感器一览表
(PH)
标准部分
(1/4)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
PH127
Y
轴粗原点
AF
PH327
Y
轴粗原点
AR
PHA27
Y
轴粗原点
BF
PHC27
Y
轴粗原点
BR
PH126
Y
超限
AF
PH326
Y
超限
AR
PHA26
Y
超限
BF
PHC26
Y
超限
BR
PH227
编带盖浮起
AF
PH233
编带盖浮起
2
AF
PH427
编带盖浮起
AR
PH433
编带盖浮起
2
AR
PHB27
编带盖浮起
BF
PHB33
编带盖浮起
2
BF
PHD27
编带盖浮起
BR
主体部
PHD33
编带盖浮起
2
BR
PH132
X
轴粗原点
AF
PH332
X
轴粗原点
AR
PHA32
X
轴粗原点
BF
PHC32
X
轴粗原点
BR
PH130
X +超限
AF
PH330
X +超限
AR
PHA30
X +超限
BF
PHC30
X +超限
BR
PH131
X 超限
AF
PH331
X 超限
AR
PHA31
X 超限
BF
PHC31
X 超限
BR
PH133
Y
轴干涉
AF
XY
装置
PHC33
包括
Y
轴干涉
BR
PH520
传送带头部基板检测
A
PH521
基板检测
4
A
PHORG1
宽度调整粗原点
A
基板传送带
L
PHILK1
宽度调整联锁
A
PH921
基板检测
1
B
PHORG2
宽度调整粗原点
B
基板传送带
R
PHILK2
宽度调整联锁
B
EJM8A-C-MMC03-A02-01
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-81
(2/4)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
PH542
支撑下限
2
A
PH543
支撑下限
1
A
PH544
支撑上限
2
A
PH545
支撑上限
1
A
PH942
支撑下限
2
B
PH943
支撑下限
1
B
PH944
支撑上限
2
B
PH945
支撑上限
1
B
PH540
支撑金属板检测
2
A
PH541
支撑金属板检测
1
A
PH940
支撑金属板检测
2
B
基板支座
PH941
支撑金属板检测
1
B
LS226
供料器工作台设置
(
)
AF
LS234
供料器工作台设置
(
)
AF
LS426
供料器工作台设置
(
)
AR
LS434
供料器工作台设置
(
)
AR
LSB26
供料器工作台设置
(
)
BF
LSB34
供料器工作台设置
(
)
BF
LSD26
供料器工作台设置
(
)
BR
整体交换台车的
对应装置
LSD34
供料器工作台设置
(
)
BR
EJM8A-C-MMC03-A02-01
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-82
(3/4)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
HPH101
NP1
真空压力传感
AF
HPH102
NP2
真空压力传感
AF
HPH103
NP3
真空压力传感
AF
HPH104
NP4
真空压力传感
AF
HPH105
NP5
真空压力传感
AF
HPH106
NP6
真空压力传感
AF
HPH107
NP7
真空压力传感
AF
HPH108
NP8
真空压力传感
AF
HPH109
NP9
真空压力传感
AF
HPH110
NP10
真空压力传感器
AF
HPH111
NP11
真空压力传感器
AF
HPH112
NP12
真空压力传感器
AF
HPH101
NP1
真空压力传感
AR
HPH102
NP2
真空压力传感
AR
HPH103
NP3
真空压力传感
AR
HPH104
NP4
真空压力传感
AR
HPH105
NP5
真空压力传感
AR
HPH106
NP6
真空压力传感
AR
HPH107
NP7
真空压力传感
AR
HPH108
NP8
真空压力传感
AR
HPH109
NP9
真空压力传感
AR
HPH110
NP10
真空压力传感器
AR
HPH111
NP11
真空压力传感器
AR
HPH112
NP12
真空压力传感器
AR
HPH101
NP1
真空压力传感
BF
HPH102
NP2
真空压力传感
BF
HPH103
NP3
真空压力传感
BF
HPH104
NP4
真空压力传感
BF
HPH105
NP5
真空压力传感
BF
HPH106
NP6
真空压力传感
BF
HPH107
NP7
真空压力传感
BF
HPH108
NP8
真空压力传感
BF
HPH109
NP9
真空压力传感
BF
HPH110
NP10
真空压力传感器
BF
HPH111
NP11
真空压力传感器
BF
HPH112
NP12
真空压力传感器
BF
HPH101
NP1
真空压力传感
BR
HPH102
NP2
真空压力传感
BR
HPH103
NP3
真空压力传感
BR
HPH104
NP4
真空压力传感
BR
HPH105
NP5
真空压力传感
BR
HPH106
NP6
真空压力传感
BR
HPH107
NP7
真空压力传感
BR
HPH108
NP8
真空压力传感
BR
HPH109
NP9
真空压力传感
BR
HPH110
NP10
真空压力传感器
BR
HPH111
NP11
真空压力传感器
BR
移载吸头
(
高速吸头
12
吸嘴
)
HPH112
NP12
真空压力传感器
BR
EJM8A-C-MMC03-A02-01