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CM602-L 维修手册 1.1 维护的概要 Pa ge 1-17 3. XY 装置 4. 彩色接触面板 EJM8A- C-MMC01- A01-0 0 EJM4A-A A01 彩色接触面板面 EJM4A -144E X 轴线性轴承 Y 轴线性轴承
CM602-L
维修手册
1.1
维护的概要
Page 1-16
各装置定期检查位置
定期检查项目按装置名称分类，并配以插图。以便检索时使用。
:
检查
:
清扫
:
涂敷润滑脂·注油
:
更换
<
各类型通用
>
1. MR
装置
2. NG
部品排出箱
EJM8A-C-MMC01-A01-00
EJM4A-022P
托盘
EJM4A-AB01
EJM4A-040P
排水回收容器
压力表
CM602-L
维修手册
1.1
维护的概要
Page 1-17
3. XY
装置
4.
彩色接触面板
EJM8A-C-MMC01-A01-00
EJM4A-AA01
彩色接触面板面
EJM4A-144E
X
轴线性轴承
Y
轴线性轴承
CM602-L
维修手册
1.1
维护的概要
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5.
基板传送带
L
∗
基板检测传感器在
A
、
B
工
作台上各有
7
个。
R
EJM8A-C-MMC01-A01-00
4Z4C-030TC0AA
基板支撑工作台
宽度调整同步皮带
宽度调整滚珠丝杠
宽度调整线性轴
基板检测传感器
基板搬送皮带
4Z4C-030UC0AA
基板支撑工作台
基板搬送皮带
宽度调整滚珠丝杠
宽度调整线性轴
基板检测传感器
宽度调整同步皮带