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CM602-L 维修手册 3.2 检查和对策 Pa ge 3-40 3.2.3 CPU 箱温度异常 1. 确认冷却扇是否 在旋转 请拆卸整体交换台车， 执行 [ 输出确认 ] 。 请确认从冷却扇的出风 口是否向外送 风。 ( 不必拆卸主体盖。 ) 冷却扇在本机前面 1 处设置。 ( 请参 照下图 ) 从冷却扇的出风口未向 外送风时，可 判断为冷却扇 出了故障。 需进行更换，届时与本 公司联系。 CPU BOX 冷却扇送风口 (CPU B…
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维修手册
3.2
检查和对策
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2.
设定热动继电器的保护电流值
①
通常只进行复位操作。
(
请参照下图
)
复位
A
工作台的热继电器时，请复位
A
工作台前面的复位开关。
复位
B
工作台的热继电器时，请复位
B
工作台前面的复位开关。
②
复位后再次发生真空泵温度异常时，请重新设定保护电流值。
(
请参照下图
)
用十字螺丝刀使台架内的热继电器保护电流值设定为
2.4A
。
设定后按下复位开关使热动继电器复位。
热动继电器
(
卸下盖后的状态
)
进行上述作业后仍不解除异常现象时，请与本公司联系。
4Z4C-439P
复位开关
EJM4A-AA01
4Z4C-438P
保护电流的设定值
EJM4A-AB01
EJM8A-C-MMC03-A01-00
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3.2
检查和对策
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3.2.3 CPU
箱温度异常
1.
确认冷却扇是否在旋转
请拆卸整体交换台车，执行
[
输出确认
]
。
请确认从冷却扇的出风口是否向外送风。
(
不必拆卸主体盖。
)
冷却扇在本机前面
1
处设置。
(
请参
照下图
)
从冷却扇的出风口未向外送风时，可判断为冷却扇出了故障。
需进行更换，届时与本公司联系。
CPU BOX
冷却扇送风口
(CPU BOX (
主体
)
的底面
)
关于使真空泵置于
ON
的顺序，请参照
“3.2.2
真空泵温度异常
”
。
3.2.4
基板识别错误
1.
通过微调把相机移动至识别标记的位置，并进行再识别
(
图
1)
确认错误画面，识别标记不在识别画面的中央时，用按操作面板的
+
把识别标记移至
中央，请按下操作面板的
+
[
再识别
]
。运转重新开始。
2.
清扫识别相机或基板后进行再识别
(
图
2)
确认错误画面，识别标记脏污时要擦拭干净，按下按操作面板的
+
[
再识别
]
。运转重新开
始。
3.
输入正确的坐标之后进行再识别
∗
再次出现识别错误时，
[
不识别
]
和
[
通过
]
被追加显示出来。
请选择其中的一个。
(
图
3)
想中止自动运转和示教时按下
。
EJM8A-C-MMC03-A01-00
EJM4A-AA01
444C-454E
CM602-L
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检查和对策
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(
图
1) (
图
2)
(
图
3)
[
再识别
]
再次进行基板识别。
[
不识别
]
不经识别直接进入到下一个动作。
[
通过
]
自动运转时，通过识别错误基板。
[
图像移动率
]
设定按下按钮
时的一次移动量。
低
: 0.01 mm,
中
: 0.1 mm,
高
: 2.00 mm
[ (
红色箭头
) ]
把识别画面向
(
红色箭头
)
的方向移动。
EJM4A-Pr-0008
EJM4A-Pr-0007
EJM8A-C-MMC03-A01-00
EJM4A-Pr-0006
1
2