4OM-1073-002.pdf - 第237页

Tg0434-PM-MT 0307-003 2 - 110 3.3 異常 ID と復帰方法 異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 750c03 搬入コンベア異常検出 前工程からの基板搬送が所定時間以内に終了しません でした。 （2225,3） 750d01 搬入コンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。 （2230,…

100%1 / 291
Tg0434-PM-MT0110-002 2-109
3.3 異常 ID と復帰方法
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
750101 搬入コンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（2100,1）
750102 搬入コンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（2100,2）
750201 搬入コンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（2110,1）
750202 搬入コンベア異常検出 コンベア出口から基板が取り除かれました。（2110,2）
750301 搬入コンベア異常検出 コンベア入口に不適切な基板が存在します。（2120,1）
750302 搬入コンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。（2120,2）
750401 搬入コンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。（2130,1）
750501 搬入コンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。（2131,1）
750601 搬入コンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。（2132,1）
750701 搬入コンベア異常検出 コンベア入口に不適切な基板が存在します。（2200,1）
750702 搬入コンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。（2200,2）
750801 搬入コンベア異常検出 コンベア入口に不適切な基板が存在します。（2201,1）
750802 搬入コンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。（2201,2）
750901 搬入コンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。（2210,1）
750a01 搬入コンベア異常検出 基板排出完了前に位置決めコンベアの搬送が中断され
ました。（2220,1）
750a02 搬入コンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。（2220,2）
750b01 搬入コンベア異常検出 基板排出完了前に位置決めコンベアの搬送が中断され
ました。（2221,1）
750b02 搬入コンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（2221,2）
750b03 搬入コンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。（2221,3）
750c01 搬入コンベア異常検出 基板検出を検出前にワーク要求信号が切れました。（2225,1）
750c02 搬入コンベア異常検出 基板排出完了前に位置決めコンベアの搬送が中断され
ました。（2225,2）
（要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） コンベア上の不適切な基板を取り除き、全軸の原点復帰をしてから運転を再開
  してください。
  復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
Tg0434-PM-MT0307-003 2-110
3.3 異常 ID と復帰方法
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
750c03 搬入コンベア異常検出 前工程からの基板搬送が所定時間以内に終了しません
でした。（2225,3）
750d01 搬入コンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。（2230,1）
750e01 搬入コンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。（2231,1）
750e02 搬入コンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。（2231,2）
751001 搬入コンベア異常検出 コンベアモータの異常を検知しました。（2233,1）
750f01 搬入コンベア異常検出 基板排出完了前に位置決めコンベアの搬送が中断され
ました。（2235,1）
750f02 搬入コンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。（2235,2）
751001 搬入コンベア異常検出 前行程からの基板搬送が所定時間以内に終了しませんでし
た。（2226,1）
751101 搬入コンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。（2227,1）
751201 搬入コンベア異常検出 コンベア出口から基板が取り除かれました。（2222,1）
751301 搬入コンベア異常検出 コンベア出口から基板が取り除かれました。（2232,1）
 
751401 搬入コンベア異常検出 位置決めコンベアへの基板搬送が所定時間以内に終了しませ
んでした。（2236,1）
  （要因1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
Tg0434-PM-MT
760101 位置決めコンベア異常検出 BPC 軸が動作未準備状態です。（3101,1）
760102 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3101,2）
760201 位置決めコンベア異常検出 ストッパシリンダ動作が所定時間以内に終了しません
でした。（3102,1）
760202 位置決めコンベア異常検出 ストッパシリンダ動作が所定時間以内に終了しません
でした。（3102,2）
760301 位置決めコンベア異常検出 BPC 軸が動作未準備状態です。（3110,1）
760302 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3110,2）
760303 位置決めコンベア異常検出 BPC 軸が動作未準備状態です。（3110,3）
760304 位置決めコンベア異常検出 BPC 軸が動作未準備状態です。（3110,4）
（要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0307-001 2-110-1
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
3.3 異常ID と復帰方法