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Tg0434-PM-MT *4 *4 *4 *4 *4 ［ ［ ［ ［ ［ OK OK OK OK OK ］ ］ ］ ］ ］ ボタン ボタン ボタン ボタン ボタン 装置情報画面を消します。 *5 *5 *5 *5 *5 ［ ［ ［ ［ ［ 警 警 警 警 警 報 報 報 報 報 解 解 解 解 解 除 除 除 除 除 ］ ］ ］ ］ ］ ボタン ボタン ボタン ボタン ボタン このボタンを押すと、異常音のみ解除します。 1.3 装置情…
Tg0434-PM-MT
1.31.3
1.31.3
1.3
装置情報装置情報
装置情報装置情報
装置情報
1.3.11.3.1
1.3.11.3.1
1.3.1
装置情報画面について 装置情報画面について
装置情報画面について 装置情報画面について
装置情報画面について
•
画面の表示画面の表示
画面の表示画面の表示
画面の表示
装置運転中に各種の装置情報が表示されます。
この表示による装置の停止はありません。
Fig.4B2-1 装置情報の例
•
画面の構成画面の構成
画面の構成画面の構成
画面の構成
*1*1
*1*1
*1
装置情報装置情報
装置情報装置情報
装置情報
装置情報を表示します。
詳細については、“1.3.2 装置情報一覧”を参照して
ください。
*2*2
*2*2
*2
表示区分表示区分
表示区分表示区分
表示区分
AA
AA
A
装置情報の概要を表示します。
*3*3
*3*3
*3
表示区分表示区分
表示区分表示区分
表示区分
BB
BB
B
装置情報の詳細を表示します。
0307-001 2-3-5
1.3 装置情報
Tg0434-PM-MT
*4*4
*4*4
*4
［［
［［
［
OKOK
OKOK
OK
］］
］］
］
ボタンボタン
ボタンボタン
ボタン
装置情報画面を消します。
*5*5
*5*5
*5
［［
［［
［
警警
警警
警
報報
報報
報
解解
解解
解
除除
除除
除
］］
］］
］
ボタンボタン
ボタンボタン
ボタン
このボタンを押すと、異常音のみ解除します。
1.3 装置情報
0307-001 2-3-6
Tg0434-PM-MT
装置情報装置情報
装置情報装置情報
装置情報
IDID
IDID
ID
表示区分表示区分
表示区分表示区分
表示区分
AA
AA
A
表示区分表示区分
表示区分表示区分
表示区分
BB
BB
B
800501 部品切れ予告発生 部品残数が残り少なくなりました。
800601 トレイ段部品切れ発生 部品残数が残り少なくなりました。
（内容）装置の自己診断によるメッセージです。
（説明）部品切れによる生産運転の停止が近づいています。
部品の準備をしてください。
800701 生産案内 基板仕上げ枚数案内
800702 生産案内 生産運転時間案内
800703 生産案内 ノズル使用回数案内
800801 前後工程信号 自動運転中に炉信号が切れました。
800901 前後工程信号
800a01 作業案内
800b01 吸着位置追従
ソフトリミット制限
（内容）装置の自己診断によるメッセージです。
（説明）表示を確認してください。
800c01 メンテナンス予告
（内容）装置の自己診断によるメッセージです。
（説明）表示に従ってメンテナンスを実施してください。
1.3.21.3.2
1.3.21.3.2
1.3.2
装置情報一覧 装置情報一覧
装置情報一覧 装置情報一覧
装置情報一覧
0307-001 2-3-7
1.3 装置情報
Table 4B1-5