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Tg0434-PM-MT 注意 (4) (4) (4) (4) (4) 部品排出箱部品排出箱部品排出箱部品排出箱部品排出箱 1.3 メンテナンスか所 0307-004 1 - 12 Fig. 4A15 箱にたまった部品を取り除く場合は、必ず人体アースを取ってから作業を行ってください。静電気で部品を壊してしまう可能性があります。

Tg0434-PM-MT

(2)(2)

(2)

真空系統真空系統

真空系統

(3)(3)

(3)

スクラップボックススクラップボックス

スクラップボックス

1.3 メンテナンスか所

0307-004 1-11

Fig. 4A14

Fig. 4A13

スクラップボックスの上に乗らないでください。

スクラップボックスが壊れ、けがをするおそれがありま

す。

注意

Tg0434-PM-MT

注意

(4)(4)

(4)

部品排出箱部品排出箱

部品排出箱

1.3 メンテナンスか所

0307-004 1-12

Fig. 4A15

箱にたまった部品を取り除く場合は、必ず人体アースを

取ってから作業を行ってください。静電気で部品を壊して

しまう可能性があります。

Tg0434-PM-MT

(5)(5)

(5)

フィーダベースフィーダベース

フィーダベース

1.3 メンテナンスか所

0203-003 1-13

Fig. 4A16

Fig. 4A17