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Tg0434-PM-MT (2) (2) (2) (2) (2) 真空系統真空系統真空系統真空系統真空系統 (3) (3) (3) (3) (3) スクラップボックススクラップボックススクラップボックススクラップボックススクラップボックス 1.3 メンテナンスか所 0307-004 1 - 11 Fig. 4A14 Fig. 4A13 スクラップボックスの上に乗らないでください。スクラップボックスが壊れ、けがをするおそ…

Tg0434-PM-MT

0203-003 1-10

1.3 メンテナンスか所

Fig. 4A12

Tg0434-PM-MT

(2)(2)

(2)

真空系統真空系統

真空系統

(3)(3)

(3)

スクラップボックススクラップボックス

スクラップボックス

1.3 メンテナンスか所

0307-004 1-11

Fig. 4A14

Fig. 4A13

スクラップボックスの上に乗らないでください。

スクラップボックスが壊れ、けがをするおそれがありま

す。

注意

Tg0434-PM-MT

注意

(4)(4)

(4)

部品排出箱部品排出箱

部品排出箱

1.3 メンテナンスか所

0307-004 1-12

Fig. 4A15

箱にたまった部品を取り除く場合は、必ず人体アースを

取ってから作業を行ってください。静電気で部品を壊して

しまう可能性があります。