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Tg0434-PM-MT 異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 762401 位置決めコンベア異常検出 基板搬送が所定時間内に終了しませんでした。 （3207,1） 762501 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。 （3292,1） 762601 位置決めコンベア異常検出 B P C 軸の異常を検知しました…

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Tg0434-PM-MT0307-003 2-113
3.3 異常 ID と復帰方法
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
761501 位置決めコンベア異常検出 基板搬入完了前に供給コンベアの搬送が中断され
ました。（3217,1）
761502 位置決めコンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。（3217,2）
761601 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3218,1）
761701 位置決めコンベア異常検出 BPC軸の異常を検知しました。（3122,1）
761801 位置決めコンベア異常検出 BPC軸の異常を検知しました。（3117,1）
761802 位置決めコンベア異常検出 コンベア上の基板が取り除かれました。（3117,2）
761803 位置決めコンベア異常検出 コンベア上の基板が取り除かれました。（3117,3）
761901 位置決めコンベア異常検出 入り口ストッパが上限にありません。（3113,1）
762001 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3291,1）
762101 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3295,1）
762201 位置決めコンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。（3310,1）
761b01 位置決めコンベア異常検出 供給コンベアの異常を検知しました。（3205,1）
761b02 位置決めコンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。（3205,2）
761c01 位置決めコンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。（3211,1）
761c02 位置決めコンベア異常検出 基板搬入完了前に供給コンベアの搬送が中断され
ました。（3211,2）
761d01 位置決めコンベア異常検出 供給コンベアの異常を検知しました。（3213,1）
761d02 位置決めコンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。（3213,2）
761e01 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3220,1）
761f01 位置決めコンベア異常検出 基板搬入完了前に供給コンベアの搬送が中断され
ました。（3290,1）
761f02 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3290,2）
（要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
Tg0434-PM-MT
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
762401 位置決めコンベア異常検出 基板搬送が所定時間内に終了しませんでした。（3207,1）
762501 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3292,1）
762601 位置決めコンベア異常検出 BPC軸の異常を検知しました。（3111,1）
762701 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3227,1）
762702 位置決めコンベア異常検出 コンベア上に不適切な基板が存在します。（3227,2）
762703 位置決めコンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。（3227,3）
762801 位置決めコンベア異常検出 位置決め位置の基板が取り除かれました。(3320,1)
762802 位置決めコンベア異常検出 位置決め位置の基板が取り除かれました。(3320,2)
762901 位置決めコンベア異常検出 位置決め位置の基板が取り除かれました。(3100,1)
762902 位置決めコンベア異常検出 位置決め位置の基板が取り除かれました。(3100,2)
762a01 位置決めコンベア異常検出 ストッパシリンダ動作が所定時間以内に終了しませんでした。
(3118,1)
（要因1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常IDと復帰方法
0307-003 2-114
Tg0434-PM-MT01 10-001 2-114-1
3.3 異常 ID と復帰方法
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
770101 排出コンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。(4100,1)
770102 排出コンベア異常検出 コンベア入口に不適切な基板が存在します。(4100,2)
770201 排出コンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。(4110,1)
770202 排出コンベア異常検出 コンベア入口に不適切な基板が存在します。(4110,2)
770301 排出コンベア異常検出 コンベア入口に不適切な基板が存在します。(4120,1)
770401 排出コンベア異常検出 コンベア入口に不適切な基板が存在します。(4130,1)
770501 排出コンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。(4200,1)
770502 排出コンベア異常検出 コンベア入口に不適切な基板が存在します。(4200,2)
770601 排出コンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。(4201,1)
770602 排出コンベア異常検出 コンベア入口に不適切な基板が存在します。(4202,2)
770701 排出コンベア異常検出 位置決めコンベアで異常を検出しました。(4210,1)
770702 排出コンベア異常検出 基板搬入完了前に位置決めコンベアの搬送が中断されました。
(4210,2)
770703 排出コンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。(4210,3)
770704 排出コンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。(4210,4)
770801 排出コンベア異常検出 位置決めコンベアで異常を検出しました。(4211,1)
770802 排出コンベア異常検出 基板搬入完了前に位置決めコンベアの搬送が中断されました。
(4211,2)
770803 排出コンベア異常検出 コンベア出口に不適切な基板が存在します。(4211,3)
770901 排出コンベア異常検出 基板搬送が所定時間以内に終了しませんでした。(4212,1)
770902 排出コンベア異常検出 コンベア上の基板が取り除かれました。(4212,2)
（要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。