JX-100_程序员、管理员.pdf - 第184页

第 2 章 制作生产程序 ④ 请选择标记的形状。 标记的形 状将被自动判别。 判别结果有误时, 请用 HOD 的 ↑ 键、 ↓ 键 (X 、 Y 移动上下箭头键 ) 选择正确的标记。 [*] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] PR ⑤ 请进行检测框的示教。 完成④的操作后,画面中心 ( 默认窗口 ) 会自动显示标记尺寸 1.5 倍的标记。要改变检测框 时,请执行④的步…

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2 制作生产程序
当标记识别不稳定时,请按下照明条件设定按钮,
设置照明条件
请在指定测定框的左上方前,先设置照明条件。
2-5-2-11-2 设置照明条件(面板)
2-5-2-11-3 设置照明条件HOD
按下设置照明条件按钮,显示如下画面。请设置照明类型。
2-5-2-11-4 设置照明类型
·按<应用>按钮可确认所设定的光量下的图像。
照明类型 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
阻剂/保护胶片 在标记上有阻剂或保护胶片,标准照明时标记反射不佳,
识别不稳定时使用。
用户定义
上述 2 种情况下标记的反射均不佳,识别不稳定时,直接
设定垂直、角度照明的光量时使用。
※用户定义的照明类型,一般设置在 50200 之间。设置在 50 以下时,有时光亮不稳定。
在标记信息相同而需要仅对检测框进行重新示教时,按下 HOD NEXT 键即可
略过③的操作。
但在这种情况下,重新识别标记时,NEXT 键无效。
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2 制作生产程序
请选择标记的形状。
标记的形状将被自动判别。判别结果有误时,请用HOD键、(XY移动上下箭头键
)
选择正确的标记。
[*]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]PR
请进行检测框的示教。
完成④的操作后,画面中心(默认窗口)会自动显示标记尺寸 1.5 倍的标记。要改变检测框
时,请执行④的步骤。
在此,如果按下 HOD PREVIOUS 键,可返回检测框的示教(③的操作)
按与刻度框同样的方式来设定检测框。设定的方
法与刻度框相同。
完成调整后,按 ENTER 键。
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2 制作生产程序
示教结束后,显示提示,问是否注册标记数据库。
2-5-2-11-5 基板标记示教(2)
要把示教数据注册到标记数据库时,请输入注册名称,然后按下<新建>按钮。
要与已经注册的示教数据进行替换时,请输入替换的名称,将光标移至注册区域想要替换的
数据所在行,然后按下<覆盖>按钮。
不将示教数据注册到标记数据库中时,请按下<取消>按钮。
No. 按钮选择 处理
1 新建 输入注册名称,将示教数据注册到标记数据库中并结束。
2 覆盖 替换所选的光标所在行的数据。
3 取消 退出,不将示教数据注册进标记数据库。
至此,以识别为目的的示教操作结束。识别示教结束后,标记数据的旁边显示*”,表
示教完成。对使用的标记请全部进行识别示教。
在示教过程中按下HODCANCEL键,可即刻结束当前的示教。(
此时,到此为止所输入的数
据均无效)
按下CANCEL键时,装置不会移动。
按下 HOD CAMERA 键进行黑白反色显示。若标记相对于基板显得比较暗时,请按
CAMERA 键进行黑白反色显示,可使标记显得白亮。
通过 CAMERA 键进行的标记反转,仅在刻度框输入时有效。
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