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第 5 章 日常检查 1) 请检查 O CC 的偏光滤光片上有无灰尘或异物。 有灰尘或异物时,请用气枪去除。 清扫部位 5-3-9 OCC (偏光滤光片) 实施频度: 每周 清扫内容 清扫 O CC (偏光滤光片)的灰尘、异物 使用工具: 气枪 偏光滤光片 5- 19

第 5 章 日常检查
1) 「滑动托盘①」上若有芯片或垃圾,会成为吸嘴装卸不畅的原因。
请用抹布沾上酒精进行清扫。
1) 请定期进行送料器台架的清扫。
此外,在安装带式送料器类之前,若发现有芯片等异物,也请用吸尘器进行清扫。
清扫部位
5-3-7 ATC 单元
实施频度: 每周
清扫内容 清扫 ATC 的灰尘、异物 使用工具:抹布
推荐溶剂: IPA
清扫部位
5-3-8 送料器台架
实施频度:每周
清扫内容 清扫送料器台架的灰尘、异物 使用工具: 吸尘器
①
送料器台架
5-18

第 5 章 日常检查
1) 请检查 OCC 的偏光滤光片上有无灰尘或异物。
有灰尘或异物时,请用气枪去除。
清扫部位
5-3-9 OCC(偏光滤光片)
实施频度: 每周
清扫内容 清扫 OCC(偏光滤光片)的灰尘、异物 使用工具: 气枪
偏光滤光片
5-19

第 5 章 日常检查
1)请拔出压缩机的排水管。
打开手动阀释放压缩机内的残余压力。
排除残余压力后,将接油装置放置在压缩机下部,打开排水手柄排除积水。
排除积水时请务必先释放残余压力后再实施排水。
清扫部位
5-3-10 压缩机(选购项)
实施频度: 毎日
清扫内容 排除积水 使用工具: 接油装置
手动阀
排水手柄
注意
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